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申请/专利权人：东领科技装备有限公司
申请日：2023-09-18
公开（公告）日：2024-05-03
公开（公告）号：CN220887675U
主分类号：C23C16/455
分类号：C23C16/455
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.03#授权
摘要：本实用新型公开了一种密封性好的原子层沉积设备沉积腔，涉及原子层沉积设备技术领域。本实用新型包括沉积腔，沉积腔为圆形管状结构，沉积腔的顶端设置有上盖板，沉积腔的侧壁面固定安装有与沉积腔内部相连通的真空泵，沉积腔的侧壁面固定安装有两个相互对称的安装板，沉积腔的底端设置有下底板，所述下底板的底部设置有用于将下底板上下移动的升降组件。本实用新型当下底板上移时转动将会通过密封组件使下底板和沉积腔实现螺纹连接，此时沉积腔的底端将位于环形槽的内部且与密封环紧密贴合，当下底板下移时反向转动将会使下底板和沉积腔实现分离，从而解决人工手动将下底板和沉积腔实现螺纹连接容易出现错位影响沉积腔的内部密封性问题。
主权项：1.一种密封性好的原子层沉积设备沉积腔，包括沉积腔1，沉积腔1为圆形管状结构，沉积腔1的顶端设置有上盖板2，沉积腔1的侧壁面固定安装有与沉积腔1内部相连通的真空泵3，沉积腔1的侧壁面固定安装有两个相互对称的安装板4，沉积腔1的底端设置有下底板5，其特征在于，所述下底板5的底部设置有用于将下底板5上下移动的升降组件6，下底板5顶部设置有用于将下底板5与沉积腔1进行连接的密封组件7，下底板5的顶部固定安装有齿环8，下底板5的右侧设置有倒立L型结构的安装架9，安装架9水平部分的底部固定安装有第二伺服电机10，第二伺服电机10的输出端固定安装有齿轮11，齿轮11与齿环8啮合连接，下底板5的顶部对应沉积腔1的位置开设有与沉积腔1相适配的环形槽12，环形槽12的内部底面固定安装有密封环13。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东领科技装备有限公司 一种密封性好的原子层沉积设备沉积腔
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