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申请/专利权人：细美事有限公司
申请日：2023-10-27
公开（公告）日：2024-05-07
公开（公告）号：CN117984661A
主分类号：B41J2/045
分类号：B41J2/045;B41J3/407;H10K71/13;H01L21/67
优先权：["20221107 KR 10-2022-0147179"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.05.07#公开
摘要：本公开提供了能够实时响应喷出异常的基板处理装置及方法。基板处理装置包括：第一台，支承基板；喷墨头单元，向基板上以液滴的形式排出基板处理液；门架单元，在第一台上使喷墨头单元移动；液滴检查单元，检查液滴；以及控制单元，基于对液滴的检查结果来对基板执行补偿，其中，喷墨头单元向基板的使用区域和非使用区域上排出基板处理液，且液滴检查单元检查排出到非使用区域上的液滴。
主权项：1.一种基板处理装置，包括：第一台，支承基板；喷墨头单元，向所述基板上以液滴的形式排出基板处理液；门架单元，在所述第一台上使所述喷墨头单元移动；液滴检查单元，检查所述液滴；以及控制单元，基于对所述液滴的检查结果来对所述基板执行补偿，其中，所述喷墨头单元向所述基板的使用区域和非使用区域上排出所述基板处理液，以及所述液滴检查单元检查排出到所述非使用区域上的所述液滴。
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