龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司
申请日：2024-04-03
公开（公告）日：2024-05-07
公开（公告）号：CN117990052A
主分类号：G01C9/00
分类号：G01C9/00;H01L21/66;G01B11/26
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.24#实质审查的生效;2024.05.07#公开
摘要：本申请涉及一种载台倾斜角度检测方法和载台调平方法，其中，该载台倾斜角度检测方法包括：获取晶圆载台平面的单张激光干涉图；将激光干涉图转换为频谱图，并从频谱图中获取0级项和目标频率分量各自的位置信息；该目标频率分量为+1级项和‑1级项；基于0级项和目标频率分量分别在频谱图中的位置信息、激光器的激光波长以及成像设备的像素参数，确定晶圆载台平面对应的物参角，根据物参角，确定晶圆载台平面的倾斜角度。其仅基于单张激光干涉图即能实现对载台平面倾斜角度的测量，从而无需采集多张激光干涉图，进而降低了载台调平耗时。
主权项：1.一种载台倾斜角度检测方法，其特征在于，包括：获取晶圆载台平面的单张激光干涉图；将所述激光干涉图转换为频谱图，并从所述频谱图中获取0级项和目标频率分量各自的位置信息；所述目标频率分量为+1级项或-1级项；基于所述0级项和所述目标频率分量分别在所述频谱图中的位置信息、激光器的激光波长以及成像设备的像素参数，确定所述晶圆载台平面对应的物参角；所述物参角为物光与参考光的夹角；根据所述物参角，确定所述晶圆载台平面的倾斜角度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司 载台倾斜角度检测方法和载台调平方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号