申请/专利权人:江苏影速集成电路装备股份有限公司
申请日:2024-02-02
公开(公告)日:2024-05-07
公开(公告)号:CN117991598A
主分类号:G03F7/20
分类号:G03F7/20;H05K3/28
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.05.24#实质审查的生效;2024.05.07#公开
摘要:本申请公开了一种多波段阻焊曝光方法,涉及PCB曝光技术领域,该方法将待曝光图形分成边缘轮廓部分及中间部分,采用第一光束对边缘轮廓部分进行曝光,采用第二光束对中间部分进行曝光,第一光束包含了阻焊曝光所需的全波长的光,第二光束不包含阻焊所需的全波长的光,在不减弱油墨感光和边缘固化效果的同时,又减少了多波段耦合光路的数量,既节省了成本,也减小了多波段光路耦合出现问题的概率。
主权项:1.一种多波段阻焊曝光方法,将待曝光图形分成边缘轮廓部分及中间部分,其特征在于,采用第一光束对边缘轮廓部分进行曝光,采用第二光束对中间部分进行曝光,所述第一光束包含了阻焊曝光所需的全波长的光。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 江苏影速集成电路装备股份有限公司 一种多波段阻焊曝光方法
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