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申请/专利权人：广东思沃先进装备有限公司
申请日：2024-03-07
公开（公告）日：2024-05-07
公开（公告）号：CN117995727A
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.24#实质审查的生效;2024.05.07#公开
摘要：本申请提供了一种贴膜装置，其包括：工作台，在工作台上形成有作业区域，在作业区域中设置有用于承载待晶圆且能够升降的承载台；在工作台上设置有卷放单元、第一卷收单元、第二卷收单元和位于卷放单元和第一卷收单元之间、且位于作业区域上方的压合单元；卷放单元、第一卷收单元和压合单元均能够在工作台上水平移动以进入或离开作业区域；在卷放单元和第一卷收单元上相对的一侧分别设置有均能够移动以靠近或远离工作台面的剥膜模块和收膜模块。本申请提供的贴膜装置，能够在减少粘接层带的浪费的同时缩小两个贴膜周期之间的准备时间，以提高作业效率，也能适应不同厚度的晶圆，适配性较强。
主权项：1.一种贴膜装置，用于对晶圆粘贴膜层，其特征在于，包括：工作台，在所述工作台上形成有用于对所述待晶圆贴膜的作业区域，在所述作业区域中设置有用于承载所述待晶圆且能够升降的承载台；在所述工作台上设置有卷放单元、第一卷收单元、第二卷收单元和位于所述卷放单元和所述第一卷收单元之间、且位于所述作业区域上方的压合单元；所述卷放单元、所述第一卷收单元和所述压合单元均能够在所述工作台上水平移动以进入或离开所述作业区域；在所述卷放单元和所述第一卷收单元上相对的一侧分别设置有均能够移动以靠近或远离工作台面的剥膜模块和收膜模块；所述卷放单元用于释放胶膜，所述剥膜模块的剥离端用于将所述胶膜上的粘接层和保护膜剥离，所述第二卷收单元用于卷收所述保护膜，所述压合单元用于将所述粘接层压合于所述待晶圆，所述第一卷收单元用于卷收压合后多余的所述粘接层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东思沃先进装备有限公司 贴膜装置
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