申请/专利权人：信利半导体有限公司

申请日：2019-05-31

公开（公告）日：2024-05-07

公开（公告）号：CN110176506B

主分类号：H01L31/0224

分类号：H01L31/0224;H01L31/05;H01L31/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.05.07#授权;2019.09.20#实质审查的生效;2019.08.27#公开

摘要：本发明公开了一种薄膜光伏电池串联结构及薄膜光伏电池串联的制备工艺，所述薄膜光伏电池串联结构设于显示模组的显示面一侧，包括透明基板和设置在透明基板上并且串联的第一单结电池和第二单结电池，其中所述第一单结电池包括依次层叠设置在透明基板上的第一前电极、第一光伏层和第一背电极，所述第二单结电池包括依次层叠设置在透明基板上的第二前电极、第二光伏层和第二背电极，所述第一前电极与第二背电极之间通过金属辅助电极电连接实现第一单结电池和第二单结电池的串联。实施本发明的薄膜光伏电池串联结构可有效减少前电极的电阻，提升器件效率。

主权项：1.一种薄膜光伏电池串联结构，设于显示模组的显示面一侧，其特征在于，包括透明基板和设置在透明基板上并且串联的第一单结电池和第二单结电池，其中所述第一单结电池包括依次层叠设置在透明基板上的第一前电极、第一光伏层和第一背电极，所述第二单结电池包括依次层叠设置在透明基板上的第二前电极、第二光伏层和第二背电极，所述第一前电极与第二背电极之间通过金属辅助电极电连接实现第一单结电池和第二单结电池的串联。

全文数据：薄膜光伏电池串联结构及薄膜光伏电池串联的制备工艺技术领域本发明涉及薄膜光伏电池制造技术领域，更具体地涉及一种薄膜光伏电池串联结构及薄膜光伏电池串联的制备工艺。背景技术随着人们对能源的需求越来越高及薄膜光伏电池技术的不断发展，将薄膜光伏电池应用在显示模组（例如可穿戴电子产品）上，利用光转换电的原理给显示模组供电的技术得到越来越广泛的应用。目前太阳能在可穿戴、低功率等耗电量低的产品的应用较少，且制造工艺繁琐。另外，由于可穿戴类电子产品不仅在户外或者强光环境下使用，更多时间是在室内或者弱光环境下使用，因此如何提升在弱光环境下的光电转换效率成为薄膜光伏电池制造技术的亟待解决的技术问题之一。发明内容为了解决所述现有技术的不足，本发明提供了一种薄膜光伏电池串联结构及薄膜光伏电池串联的制备工艺，过将串联结构的第一单结电池和第二单结电池之间采用金属辅助电极电连接，所述金属辅助电极一方面起到串联的作用，另一方面可以起到减少前电极电阻的作用，该两个作用均有效提升电池器件的转化效率。本发明所要达到的技术效果通过以下方案实现：一种薄膜光伏电池串联结构，设于显示模组的显示面一侧，包括透明基板和设置在透明基板上并且串联的第一单结电池和第二单结电池，其中所述第一单结电池包括依次层叠设置在透明基板上的第一前电极、第一光伏层和第一背电极，所述第二单结电池包括依次层叠设置在透明基板上的第二前电极、第二光伏层和第二背电极，所述第一前电极与第二背电极之间通过金属辅助电极电连接实现第一单结电池和第二单结电池的串联。优选地，所述薄膜光伏电池串联结构的外围还形成有连接第一前电极和第二前电极的总栅电极。优选地，所述第一光伏层和第一背电极被绝缘层包覆绝缘，所述第一前电极上还接触连接有第一金属辅助电极。优选地，所述第二背电极上还设有第二金属辅助电极，所述第二金属辅助电极延伸作为负极与第一单结电池的作为正极的第一金属辅助电极接触连接实现第一单结电池和第二单结电池的串联。优选地，所述第一光伏层和第一背电极被绝缘层包覆绝缘，所述第一前电极上还接触连接第一金属辅助电极，所述第一金属辅助电极通过过孔将第一前电极引出形成正极并延伸到覆盖所述绝缘层。优选地，所述第二背电极上还设有第二金属辅助电极，所述第二金属辅助电极延伸作为负极与第一单结电池的第一金属辅助电极接触连接实现第一单结电池和第二单结电池的串联。优选地，所述第一单结电池内还包括有第三金属辅助电极，所述第三金属辅助电极与第一前电极接触并所述第三金属辅助电极与第一背电极绝缘隔开。优选地，所述第二单结电池内还包括第三金属辅助电极，所述第三金属辅助电极与第二前电极接触并所述第三金属辅助电极与第二背电极绝缘隔开。一种薄膜光伏电池串联结构的制备工艺，包括以下步骤：步骤S1：提供一透明基板，将透明基板朝向显示模组的一侧进行第一前电极成膜，以及进行第二前电极成膜；步骤S2：在所述第一前电极上进行第一光伏层化学气相沉积成膜，在所述第二前电极上进行第二光伏层化学气相沉积成膜；步骤S3：在所述第一光伏层上进行第一背电极成膜，在所述第二光伏层上进行第二背电极成膜；步骤S4：清洗后对第一背电极和第二背电极进行成像刻蚀，以及对第一光伏层和第二光伏层进行成像刻蚀；步骤S5：对第一前电极和第二前电极进行涂胶曝光成像后进行化学刻蚀后脱掉光刻胶；步骤S6：对绝缘层进行成膜；步骤S7：对第一金属辅助电极和第二金属辅助电极经涂胶曝光后成像并化学刻蚀。优选地，所述步骤S7中还包括对第三金属辅助电极经涂胶曝光后成像并化学刻蚀的步骤。本发明具有以下优点：1、通过将串联结构的第一单结电池和第二单结电池之间采用金属辅助电极电连接，所述金属辅助电极一方面起到串联的作用，另一方面可以起到减少前电极电阻的作用，该两个作用均有效提升电池器件的转化效率；2、通过在第一单结电池和第二单结电池内分别增加第三金属辅助电极，使前电极的电阻进一步减小，进一步提高器件的转换效率。附图说明图1为本发明实施例一中的薄膜光伏电池串联结构的平面结构示意图；图2为图1中A-A处的剖面结构示意图（显示第一单结电池和第二单结电池串联的层叠结构）；图3为图1中B-B处的剖面结构示意图（显示第一单结电池正极的层叠结构）；图4为图1中C-C处的剖面结构示意图（显示第二单结电池负极的层叠结构）；图5为本发明实施例二中的薄膜光伏电池串联结构的平面结构示意图；图6为图5中D-D处的剖面结构示意图（显示第一单结电池正极的层叠结构）；图7为图5中E-E处的剖面结构示意图（显示第二单结电池负极的层叠结构）。具体实施方式下面结合附图和实施例对本发明进行详细的说明，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。在本发明的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、“设置”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。实施例一本发明实施例一提供一种薄膜光伏电池串联结构，所述薄膜光伏电池串联结构设于显示模组的显示面一侧，利用光能发电给显示模组充电。结合图1、图2所示，本发明实施例所述薄膜光伏电池串联结构包括透明基板10和设置在透明基板10上并且串联的第一单结电池20和第二单结电池30，其中所述第一单结电池20包括依次层叠设置在透明基板10上的第一前电极21、第一光伏层22和第一背电极23，所述第二单结电池30包括依次层叠设置在透明基板10上的第二前电极31、第二光伏层32和第二背电极33，所述第一前电极21与第二背电极33之间通过金属辅助电极电连接实现第一单结电池20和第二单结电池30的串联。所述金属辅助电极作为第一前电极21与第二前电极31之间的串联连接线，主要起串联作用，也可以起到减少电阻的作用。具体地，以显示模组为圆形作为示例，应当理解的是，所述显示模组的形状不作具体限定，可以是圆形，方形或者其它任何形状。所述显示模组包括中间显示区（对应图1的内圆部分）和外围边框区（对应图1的外环部分），所述薄膜光伏电池串联结构主要对应显示模组的边框区设置，当然，也可以在显示模组的显示区对应设置薄膜光伏电池，但是该薄膜光伏电池的设置会影响显示模组的显示效果，即对显示模组的透过率产生影响，因此一般对应设置在显示区的薄膜光伏电池呈间隔的栅条状，使肉眼不可见用于防止薄膜光伏电池对显示模组的显示效果产生影响，因此显示区的薄膜光伏电池的光伏转换效率远远低于边框区的光伏转换效率。本发明实施例中，所述薄膜光伏电池串联结构可完全覆盖显示模组的边框区以提高光伏转换效率，且不影响显示模组的显示效果。如图1所示，本发明实施例一图示了8节单结电池的串联结构第一种实施方式（数量8个仅作为示例，不应以此为限），每节单结电池均包含有正极（+）和负极（-），一个单结电池的正极（相当于第一单结电池20的前电极）延伸至与相邻的另一个单结电池的负极（相当于第二单结电池30的背电极）电连接形成串联。优选地，所述薄膜光伏电池串联结构的外围还形成有连接第一前电极21和第二前电极31的总栅电极40，所述总栅电极40用作正电极的连接总线。如图3所示，为图1中第一单结电池20的正极结构的剖视示意图（B-B处），所述透明基板10上设有第一前电极21，第一前电极21上依次设有第一光伏层22和第一背电极23，第一光伏层22和第一背电极23被绝缘层11包覆绝缘，所述第一前电极21上还接触连接有第一金属辅助电极24（图3中的左侧对应图1的外侧，所述第一金属辅助电极24的左侧部分围合形成总栅电极40）。图3中所述的第一金属辅助电极24的作用如下：1、由于第一前电极21的电阻过大，不适合直接用作电极，通过第一金属辅助电极24接触连接第一前电极21并引出作为正极，该正极与相邻的第二单结电池30的负极连接；2、所述第一金属辅助电极24还起到在一定程度上降低第一前电极21的作用，提高器件效率；3、所述第一金属辅助电极24成膜时，需要朝环内延伸（图3中第二金属辅助电极朝右边延伸），该延伸部分的第一金属辅助电极24作为正极与相邻的第二单结电池30的负极连接，形成串联结构。如图4所示，为图1中第二单结电池30的剖视示意图（C-C处），所述透明基板10上设有第二前电极31，所述第二前电极31上依次设有第二光伏层32和第二背电极33，所述第二背电极33上还设有第二金属辅助电极34，所述第二金属辅助电极34延伸作为负极与第一单结电池20的作为正极的第一金属辅助电极24接触连接实现第一单结电池20和第二单结电池30的串联。所述第二前电极31上还单独接触连接有第一金属辅助电极24，作为该第二单结电池30的正极，所述第一金属辅助电极24与第二金属辅助电极34、第二背电极33绝缘隔开，防止连接产生短路。依次类推，所述第二单结电池30的正极与下一个第一单结电池20的负极连接，从而所有单结电池依次串联形成回路。实施例二如图5所示，本发明实施例二图示了7节单结电池的串联结构第二种实施方式（为了便于清楚图示，图5中绘制出分割线L，分割线L超出外圆部分的一端为分割端，分割线L内缩于外圆部分的一端为串联端），对应显示模组的显示区，所述薄膜光伏电池串联结构还包括设置在显示区内的薄膜光伏电池（图中所示为栅条状），此时所述显示区内的薄膜光伏电池与边框区的薄膜光伏电池可按照整个区域划分形成S形的串联结构。如图6所示，为图5中体现第一单结电池20的剖视示意图（D-D处），所述透明基板10上设有第一前电极21，所述第一前电极21上依次设有第一光伏层22和第一背电极23，所述第一光伏层22和第一背电极23被绝缘层11包覆绝缘，所述第一前电极21上还接触连接第一金属辅助电极24，所述第一金属辅助电极24通过过孔将第一前电极21引出形成正极并延伸到覆盖所述绝缘层11，所述第一金属辅助电极24连接到最外围的第二金属辅助电极34，通过第一金属辅助电极24和第二金属辅助电极34连接以将正负电极连接。所述过孔可以为若干个无规则形状。如图7所示，为图5中体现第二单结电池30的剖视示意图（E-E处），所述透明基板10上设有第二前电极31，所述第二前电极31上依次设有第二光伏层32和第二背电极33，所述第二背电极33上还设有第二金属辅助电极34，所述第二金属辅助电极34延伸作为负极与第一单结电池20的第一金属辅助电极24接触连接。应当理解的是，所述最外围的金属辅助电极与前电极之间还可以设置光伏层，以使金属辅助电极在入射光面的颜色与其它光伏转换区域一致，因为只有前电极与金属辅助电极直接接触的时候，表面颜色会反映出金属颜色，而不是光伏层颜色。作为本发明上述两个实施例的进一步改进，所述第一单结电池20内还可以包括有第三金属辅助电极，所述第三金属辅助电极与第一前电极21接触，用于减少前电极的电阻，所述第三金属辅助电极与第一背电极23绝缘隔开用于防止第一前电极21与第一背电极23连接发生短路。作为本发明上述两个实施例的进一步改进，所述第二单结电池30内也可以包括第三金属辅助电极，所述第三金属辅助电极与第二前电极31接触，用于减少前电极的电阻，所述第三金属辅助电极与第二背电极33绝缘隔开用于防止第二前电极31与第二背电极33连接发生短路。所述第三金属辅助电极与前电极的连接部分面积可根据实际情况而定，其可以防止前电极电阻过大对光伏转换效率的影响，从而提高该单结电池的效率。该第三金属辅助电极与前电极的连接部分可参考第一金属辅助电极与第一前电极的连接部分，因此本发明不作图示。对应显示模组的显示区，所述薄膜光伏电池串联结构可以增加肉眼不可见的线条型电池或者蜂窝状电池等不同形状结构形成一种半透明结构，这些结构可以任意在某些位置切断，例如中间是线条状，则线条也可以在中间或13节电处断开，线条两端分别连接在边框区的串联电池上，各自与其连接的边框区的电池形成一个单电池。优选地，所述第三金属辅助电极可以至少部分形成在第一前电极21和或第二前电极31的下表面，且所述第三金属辅助电极可以形成在第一前电极21的一侧或者两侧以提升减小电阻的效率，和或形成在第二前电极31的一侧或者两侧以提升减小电阻的效率。优选地，所述第三金属辅助电极由于强反射作用，导致入射光面光反射较多，为减小该现象，所述第三金属辅助电极的下表面还分别设有防反射层，所述防反射层可以采用SiNx材质，或者使用氧化钼等黑色金属材质，用于遮盖三金属辅助电极，用于减小该薄膜光伏电池串联结构使用时的反光作用。作为上述两个实施例的另一种改进，所述第三金属辅助电极形成在第一前电极21的上表面，和或所述第三金属辅助电极形成在第二前电极31的上表面，所述第三金属辅助电极与第一背电极23、所述第三金属辅助电极与第二背电极33之也设有绝缘层11。所述第三金属辅助电极设置的范围不作具体限定，其设置的范围越广则降低电阻的效果越好。本发明实施例中，所述第一前电极21、第一背电极23、第二前电极31和第二背电极33可以直接作为电极使用，不需要增加银浆等其他导电性好的材料，缩短工艺流程，提高产品良率。本发明实施例中，所述薄膜光伏电池串联结构形成的形状结构可以根据器件的形状需要而改变，不仅限于本发明中图示的圆环形，也可以是方形或者多边形等。本发明实施例中，所述第一金属辅助电极24、总栅电极40、第一金属辅助电极24、第一金属辅助电极24可以采用AZO，ITO等金属氧化物或金属氧化物及金属的叠层来代替，金属的叠层更有利于电极的成膜，提高薄膜光伏电池串联结构的效率。本发明实施例中，所述第一前电极21和第二前电极31为了保证自然光的透过率，其可采用AZO、Ito，SnO等高透过率金属氧化物，或者石墨烯，碳纳米管，纳米金属等透明物质。本发明实施例中，所述第一光伏层22和第二光伏层32可以是通过气体而形成不同的非晶硅，晶体硅，GaAs，CIGS或各种不同光伏层组合达到提高转化率的目的。本发明实施例中，所述第一背电极23和第二背电极33可采用金属Al，Mo，Ag，Cu，Au等材质，或该金属的组合使用，也可以使用与前电极20一样的金属氧化物及石墨烯等材质。本发明实施例所示的圆环图形区域没有显示与FPC显示绑定为的电极形状，其可以根据实际需要进行电极形状的设计。实施例三本发明实施例三提供实施例一和实施例二所述的薄膜光伏电池串联的制备工艺，包括以下步骤：步骤S1：提供一透明基板10，将透明基板10朝向显示模组的一侧进行第一前电极21成膜，以及进行第二前电极31成膜。可选的，还包括对第一前电极21和第二前电极31制绒以形成凹凸不平的平面的步骤，以提高太阳能吸收。具体地，所述第一前电极21和第二前电极31可以均采用AZO，ITO等材质的一种或组合，组合使用时，AZO与光伏层接触以减少接触电阻，其中AZO的成膜温度为200-350℃，成膜厚度为300nm-1000nm之间；ITO可以采用常温成膜，膜厚为500A-3000A，优选采用235℃及以上的温度，退火以降低ITO电阻，对于AZO可以选择用低浓度HCl或碱性物质制绒形成凹凸不平的平面，以提高太阳能吸收。步骤S2：在所述第一前电极21上进行第一光伏层22化学气相沉积成膜，在所述第二前电极31上进行第二光伏层32化学气相沉积成膜。具体地，所述第一光伏层22和第二光伏层32分别分为P层、I层和N层，其中P层厚度为10nm-30nm，成膜温度为190℃-210℃，I层200nm-500nm，成膜温度190℃-210℃，N层20nm-30nm，成膜温度170℃-190℃。更有选的，所述P层分为P1和P2两层，其中P1:使用气体，B2H6，SiH4，H2，B2H6:SiH4=1:2或者1:2.5，沉积压力为9000mtorr,该压力保证P1位纳米晶硅，具有良好的导电性，沉积功率为700w-1400w，根据实际膜厚调整。氢稀释比H2SiH4=600；P2使用B2H6，CH4，SiH4，H2，B2H6:SiH4:CH4=1：3.75：2.5，沉积压力为2500mtor，沉积功率为80w-140w，氢稀释比H2SiH4=10。所述I层使用SiH4与H2两种气体，比例为1：10，沉积压力为2500mtorr，沉积功率30w-500w。所述N1使用PH3，SiH4与H2，PH3：SiH4=1：1.5，沉积压力为1500mtor，沉积功率为90w-120w；氢稀释比H2SiH4=5.5。所述N2使用PH3，SiH4与H2，PH3：SiH4=4：3，沉积压力为1500mtor，沉积功率为30-60w，氢稀释比H2SiH4=8。步骤S3：在所述第一光伏层22上进行第一背电极23成膜，在所述第二光伏层32上进行第二背电极33成膜。优选地，所述第一背电极23和第二背电极33的成膜温度为40℃-180℃，膜厚采用3000A-4000A。步骤S4：清洗后对第一背电极23和第二背电极33进行成像刻蚀，以及对第一光伏层22和第二光伏层32进行成像刻蚀。该步骤中可以先选用Al刻蚀液刻蚀成像第一背电极23和第二背电极33；接着投入干刻机台，刻蚀第一光伏层22和第二光伏层32，所用气体（cl2：SF6=10），也可以选择Ar与SF6。这里主要是在干刻前不进行光刻胶的脱模处理而直接进行干刻，而节省工艺步骤。步骤S5：对第一前电极21和第二前电极31进行涂胶曝光成像后进行化学刻蚀后脱掉光刻胶，优选可以采用化学刻蚀的方式进行第一前电极21和第二前电极31的成像。优选地，所述第一前电极21的宽度比第一光伏层22的宽度更宽，所述第二前电极31的宽度比第二光伏层32的宽度更宽，以保证有效光伏转换区的面积。步骤S6：对绝缘层11进行成膜。所述绝缘层11可以选用有机材料，所述绝缘层11与第一前电极21的角度、绝缘层11与第二前电极31的角度均应该控制在80度以内，用于防止金属辅助电极成膜时由于角度太陡而断开。此外，所述绝缘层11可以同时设置在第一前电极21的外围用于保护所述第一前电极21，所述绝缘层11可以同时设置在第二前电极31的外围用于保护所述第二前电极31，因为如果金属辅助电极用化学刻蚀时，刻蚀液可以刻蚀掉前电极，该处绝缘层11是为了保护前电极不被刻蚀。步骤S7：对第一金属辅助电极24和第二金属辅助电极34经涂胶曝光后成像并化学刻蚀。所述金属辅助电极的成膜和刻蚀参数可以与前电极、背电极的任意一种相同。作为本发明实施例的进一步改进，所述步骤S7中还包括对第三金属辅助电极经涂胶曝光后成像并化学刻蚀的步骤，所述第三金属辅助电极用于减少前电极的电阻。优选地，所述第一金属辅助电极24、第二金属辅助电极34和第三金属辅助电极的膜层结构可以分别均为第一Mo层、金属层、第二Mo层依次层叠设置，其中金属层可以采用Al，或者Ag等材质，第一Mo层可以提高中间金属层与透明基板10（或者前电极）的粘附力，第二Mo层可以起到保护作用，所述第二Mo层同样可以使用活性不强的金属，其中所述第一金属辅助电极24和第二金属辅助电极34的成膜温度为40℃-230℃，厚度可以是第一Mo层为500A，金属层为2000A-5000A，第二Mo层为500A。所述金属层由于强反射作用，导致入射光面光反射较多，为减小该现象，可以在第一金属辅助电极24、第二金属辅助电极34和第三金属辅助电极成膜前镀有SiNx的防反射层，或使用氧化钼等黑色金属遮盖金属辅助电极，减小该薄膜光伏电池串联结构使用时的反光作用。所述第一金属辅助电极24和第二金属辅助电极34还可以用于减小电流回路电阻，最大限度提高该薄膜光伏电池串联结构效率。本发明实施例三所述的薄膜光伏电池串联的制备工艺中通过将金属辅助电极用作相邻单结电池的串联作用且还可起到减小前电极的作用；并且通过在第一单结电池20内设置第一辅助电极和在第二单结电池30内设置第二辅助电极，使前电极的电阻进一步降低，有效提升器件效率。最后需要说明的是，以上实施例仅用以说明本发明实施例的技术方案而非对其进行限制，尽管参照较佳实施例对本发明实施例进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解依然可以对本发明实施例的技术方案进行修改或者等同替换，而这些修改或者等同替换亦不能使修改后的技术方案脱离本发明实施例技术方案的范围。

权利要求：1.一种薄膜光伏电池串联结构，设于显示模组的显示面一侧，其特征在于，包括透明基板和设置在透明基板上并且串联的第一单结电池和第二单结电池，其中所述第一单结电池包括依次层叠设置在透明基板上的第一前电极、第一光伏层和第一背电极，所述第二单结电池包括依次层叠设置在透明基板上的第二前电极、第二光伏层和第二背电极，所述第一前电极与第二背电极之间通过金属辅助电极电连接实现第一单结电池和第二单结电池的串联。2.如权利要求1所述的薄膜光伏电池串联结构，其特征在于，所述薄膜光伏电池串联结构的外围还形成有连接第一前电极和第二前电极的总栅电极。3.如权利要求2所述的薄膜光伏电池串联结构，其特征在于，所述第一光伏层和第一背电极被绝缘层包覆绝缘，所述第一前电极上还接触连接有第一金属辅助电极。4.如权利要求3所述的薄膜光伏电池串联结构，其特征在于，所述第二背电极上还设有第二金属辅助电极，所述第二金属辅助电极延伸作为负极与第一单结电池的作为正极的第一金属辅助电极接触连接实现第一单结电池和第二单结电池的串联。5.如权利要求2所述的薄膜光伏电池串联结构，其特征在于，所述第一光伏层和第一背电极被绝缘层包覆绝缘，所述第一前电极上还接触连接第一金属辅助电极，所述第一金属辅助电极通过过孔将第一前电极引出形成正极并延伸到覆盖所述绝缘层。6.如权利要求5所述的薄膜光伏电池串联结构，其特征在于，所述第二背电极上还设有第二金属辅助电极，所述第二金属辅助电极延伸作为负极与第一单结电池的第一金属辅助电极接触连接实现第一单结电池和第二单结电池的串联。7.如权利要求1或4或6所述的薄膜光伏电池串联结构，其特征在于，所述第一单结电池内还包括有第三金属辅助电极，所述第三金属辅助电极与第一前电极接触并所述第三金属辅助电极与第一背电极绝缘隔开。8.如权利要求1或4或6所述的薄膜光伏电池串联结构，其特征在于，所述第二单结电池内还包括第三金属辅助电极，所述第三金属辅助电极与第二前电极接触并所述第三金属辅助电极与第二背电极绝缘隔开。9.如权利要求1-8任一项所述的薄膜光伏电池串联结构的制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1：提供一透明基板，将透明基板朝向显示模组的一侧进行第一前电极成膜，以及进行第二前电极成膜；步骤S2：在所述第一前电极上进行第一光伏层化学气相沉积成膜，在所述第二前电极上进行第二光伏层化学气相沉积成膜；步骤S3：在所述第一光伏层上进行第一背电极成膜，在所述第二光伏层上进行第二背电极成膜；步骤S4：清洗后对第一背电极和第二背电极进行成像刻蚀，以及对第一光伏层和第二光伏层进行成像刻蚀；步骤S5：对第一前电极和第二前电极进行涂胶曝光成像后进行化学刻蚀后脱掉光刻胶；步骤S6：对绝缘层进行成膜；步骤S7：对第一金属辅助电极和第二金属辅助电极经涂胶曝光后成像并化学刻蚀。10.如权利要求9所述的薄膜光伏电池串联结构的制备工艺，其特征在于，所述步骤S7中还包括对第三金属辅助电极经涂胶曝光后成像并化学刻蚀的步骤。

百度查询： 信利半导体有限公司 薄膜光伏电池串联结构及薄膜光伏电池串联的制备工艺

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