申请/专利权人：CKD株式会社

申请日：2020-04-07

公开（公告）日：2024-05-07

公开（公告）号：CN113767263B

主分类号：G01B11/25

分类号：G01B11/25;G06T7/00

优先权：["20190529 JP 2019-099886"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.05.07#授权;2021.12.24#实质审查的生效;2021.12.07#公开

摘要：提供能够实现测量精度的提高等的三维测量装置以及三维测量方法。基板检查装置10包括具有照射装置13、投影装置14以及相机15的测量头12，首先，从照射装置13向印刷基板1上的检查范围照射狭缝光，测量该检查范围的高度。接着，基于该检查范围的高度求出该检查范围所包含的各焊膏的测量基准面的高度，并且确定在对焦状态下拍摄各焊膏的高度方向整个区域所需的需要对焦范围。接着，基于各焊膏的需要对焦范围和相机15的景深进行测量头12的高度位置和在该高度位置作为测量对象的焊膏的关联。然后，使测量头12相对于在此确定的规定的高度位置依次移动，对在该高度位置作为测量对象的焊膏5执行焊料测量。

主权项：1.一种三维测量装置，使规定的测量单元与规定的被测量物上的规定的被测量区域对位，针对配置在所述被测量区域内的被测量对象，通过规定的三维测量法进行三维测量，所述三维测量装置的特征在于，所述测量单元包括：第一照射单元，能够向所述被测量区域照射规定的光，所述规定的光用于进行该被测量区域的高度测量；第二照射单元，能够向所述被测量区域照射规定的图案光，所述规定的图案光用于进行所述被测量对象的三维测量；以及拍摄单元，能够对照射了所述规定的光或所述规定的图案光的所述被测量区域进行拍摄，所述三维测量装置包括：区域高度获取单元，基于照射所述规定的光并由所述拍摄单元拍摄而得到的图像数据来获取所述被测量区域的高度信息；基准面高度获取单元，基于所述被测量区域的高度信息来计算该被测量区域所包含的多个所述被测量对象各自的测量基准面的高度信息；需要对焦范围确定单元，针对所述多个被测量对象分别基于所述测量基准面的高度信息来确定在对焦状态下拍摄该被测量对象的高度方向上的整个区域所需的需要对焦范围；关联单元，基于所述多个被测量对象的需要对焦范围和所述拍摄单元的景深来进行所述测量单元的高度位置和在该高度位置作为测量对象的所述被测量对象之间的关联；高度调整单元，被构成为能够使所述测量单元在高度方向上移动，并能够使所述测量单元相对于通过所述关联而确定的规定的高度位置依次进行定位；以及三维测量单元，能够在所述测量单元被定位的规定的高度位置基于在从所述第二照射单元照射的所述规定的图案光下由所述拍摄单元拍摄而得到的图像数据，对在该高度位置成为测量对象的所述被测量对象执行三维测量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： CKD株式会社 三维测量装置以及三维测量方法

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