申请/专利权人：荷兰应用自然科学研究组织TNO

申请日：2020-07-09

公开（公告）日：2024-05-07

公开（公告）号：CN114097095B

主分类号：H01L31/0463

分类号：H01L31/0463;H01L31/0749

优先权：["20190710 EP 19185484.3"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.05.07#授权;2022.06.28#实质审查的生效;2022.02.25#公开

摘要：公开了一种用于制造具有多个光伏电池的光伏产品的方法。该方法包括沉积具有第一和第二电极层12、16和设置在其之间的光伏层14的叠层。该方法包括分割叠层。该分割包括形成贯穿第二电极层和光伏层的沟槽20以暴露出第一电极层。首先使用具有第一斑点尺寸和第一波长的激光束辐照该叠层，对于所述第一波长，相较于第二电极层的吸收系数，光伏层具有相对高的吸收系数。随后使用具有大于所述第一斑点尺寸的第二斑点尺寸且具有第二波长的第二激光束辐照所述叠层，对于所述第二波长，相较于第二电极层的吸收系数，光伏层具有相对低的吸收系数。

主权项：1.一种用于制造具有多个光伏电池1A、……、1F的光伏产品1的方法，所述方法包括：沉积具有第一电极层12、第二电极层16和设置在所述第一电极层和所述第二电极层之间的光伏层14的叠层；和将所述叠层分割成相应的侧向部分，所述分割至少包括形成S4贯穿所述第二电极层16和所述光伏层14的沟槽20以暴露出第一电极层12，其特征在于，所述形成沟槽至少包括第一辐照阶段和第二辐照阶段，所述第一辐照阶段S4A使用第一激光束B1，所述第一激光束B1在横向于待形成的所述沟槽20的方向上具有第一斑点尺寸d1，并且具有第一波长λ1，对于所述第一波长，相较于所述第二电极层16的吸收系数，所述光伏层14具有相对高的吸收系数，所述第一激光束B1撞击所述光伏层的一区域，导致该区域的光伏材料局部蒸发和该区域的附近区域的光伏材料熔化，进一步导致所述第二电极层对所述光伏层的粘附性降低，蒸发的光伏材料的压力有助于在不去除所述第二电极层的情况下使所述第二电极层与其中的所述光伏层分离，所述第二辐照阶段S4B使用第二激光束B2，B2’去除所述附近区域中的所述第二电极层的材料和光伏层的材料，所述第二激光束B2，B2’在所述横向方向上具有大于所述第一斑点尺寸的第二斑点尺寸d2，并且具有第二波长λ2，对于所述第二波长，相较于所述第二电极层16的吸收系数，所述光伏层14具有相对低的吸收系数。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 荷兰应用自然科学研究组织TNO 制造薄膜光伏产品的方法

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