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申请/专利权人：西湖大学
申请日：2021-12-16
公开（公告）日：2024-05-07
公开（公告）号：CN114196916B
主分类号：C23C14/10
分类号：C23C14/10;C23C14/18;C23C14/08;C23C14/35;G02B5/08
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.07#授权;2022.04.05#实质审查的生效;2022.03.18#公开
摘要：本公开实施例提供一种金属反射镜的制备方法以及金属反射镜，所述制备方法包括以下步骤：在衬底层的表面上依次沉积过渡层和银‑镍铬合金层，其中，在沉积所述过渡层的过程中通入氩气和氧气，使得所述过渡层的氧含量逐步变化，在沉积所述银‑镍铬合金层的过程中通入氧气或者氮气，使得所述银‑镍铬合金层的氧含量或者氮含量逐步变化；在所述银‑镍铬合金层上沉积至少一组折射层。本公开实施例能够实现高性能的反射镜的连续稳定生产，提高核心的银‑镍铬合金层与衬底层之间的结合力，降低产品潜在的结构风险，提高生产效率。
主权项：1.一种金属反射镜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：在衬底层的表面上依次沉积过渡层和银-镍铬合金层，其中，在沉积所述过渡层的过程中通入氩气和氧气，使得所述过渡层的氧含量逐步变化，在沉积所述银-镍铬合金层的过程中通入氧气或者氮气，使得所述银-镍铬合金层的氧含量或者氮含量逐步变化，其中，所述使得所述银-镍铬合金层的氧含量或者氮含量逐步变化包括使得所述银-镍铬合金层中从靠近所述过渡层的位置到远离所述过渡层的位置的氧含量或者氮含量逐步降低；沉积所述银-镍铬合金层包括在所述过渡层上依次沉积镍铬合金、银以及镍铬合金并在所述银-镍铬合金层的沉积过程中通入氧气；在所述银-镍铬合金层上沉积至少一组折射层；每组所述折射层包括低折射率层和高折射率层，所述低折射率层采用SiOx、Si-SiOx中的至少一种制成，所述高折射率层为ZnOx、NbxOx、TiOx中的至少一种制成；所述过渡层采用氧化硅制成，沉积所述过渡层包括在所述衬底层上设置硅并在所述过渡层的沉积过程中通入氩气和氧气以形成氧化硅；所述使得所述过渡层的氧含量逐步变化包括使得从所述过渡层中靠近所述衬底层的位置向远离所述衬底层的位置处的氧含量逐步降低。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西湖大学 一种金属反射镜的制备方法以及金属反射镜
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