申请/专利权人:优美科股份公司及两合公司
申请日:2018-12-12
公开(公告)日:2024-05-07
公开(公告)号:CN111712506B
主分类号:C07F17/02
分类号:C07F17/02;C07F5/00;C07F5/06;C23C16/00;C30B25/00;C07C245/24;C23C16/18
优先权:["20171215 EP 17207806.5"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.05.07#授权;2020.12.22#实质审查的生效;2020.09.25#公开
摘要:本发明涉及金属络合物用于从气相沉积所述金属或所述金属的化合物的用途,所述金属络合物具有至少一个式R1‑N3‑R2的配体,其中R1和R2为烃部分。本发明还涉及用于沉积所述金属络合物中的金属的方法,并且涉及金属络合物、取代的三氮烯化合物及其制备方法。
主权项:1.金属络合物用于从气相沉积所述金属或所述金属的化合物的用途,所述金属络合物具有式2:M[L1aXd]2其中L1具有式R1-N3-R2,其中R1和R2为具有1至12个C原子的烷基基团,X选自H、卤素、CO和具有1至12个C原子的烷基,a=2或3,d=0或1,并且M选自In、Co、Cu、Al、Ga、Tl和La。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 优美科股份公司及两合公司 具有三氮烯配体的金属络合物及其从气相沉积金属的用途
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