申请/专利权人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司

申请日：2019-12-27

公开（公告）日：2024-05-07

公开（公告）号：CN111383879B

主分类号：H01J37/28

分类号：H01J37/28;H01J37/145

优先权：["20181229 DE 102018133703.5"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.05.07#授权;2021.05.14#实质审查的生效;2020.07.07#公开

摘要：一种用于产生多个粒子束3的设备，该设备包括粒子源11、具有多个开口15的第一多孔板13、具有多个开口19的第二多孔板17、第一粒子透镜21、第二粒子透镜22、第三粒子透镜23以及控制器27，该控制器为第一粒子透镜21、第二粒子透镜22以及第三粒子透镜23中的每一个透镜提供可调节的激励。

主权项：1.一种用于产生多个粒子束的设备，包括：粒子源；第一多孔板，该第一多孔板包括多个开口；第二多孔板，该第二多孔板包括多个开口，所述第二多孔板被布置在该设备的、在该粒子源与该第一多孔板之间的束路径中；第一粒子透镜，该第一粒子透镜被布置在该第二多孔板与该第一多孔板之间的束路径中；第二粒子透镜，该第二粒子透镜被布置在该第一粒子透镜与该第一多孔板之间的束路径中；以及控制器，该控制器被配置用于为该第一粒子透镜提供可调节的激励并且为该第二粒子透镜提供可调节的激励；其特征在于：第三粒子透镜，该第三粒子透镜被布置在该第二粒子透镜与该第一多孔板之间的束路径中；其中，该控制器被进一步配置用于为该第三粒子透镜提供可调节的激励，并且该控制器被配置为以彼此匹配的方式提供所述第一、第二和第三粒子透镜的激励，并以如下方式改变所述激励：使得在已经穿过该第二多孔板之后入射在该第一多孔板上时这些粒子束之间的距离是可调的。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 用于产生多个粒子束的设备以及多束式粒子束系统

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