申请/专利权人：圣思科技(廊坊)有限公司

申请日：2022-08-10

公开（公告）日：2024-05-07

公开（公告）号：CN115287621B

主分类号：C23C14/56

分类号：C23C14/56

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.05.07#授权;2022.11.22#实质审查的生效;2022.11.04#公开

摘要：本发明公开了一种应用于功能涂层真空镀膜设备的自动传输结构，包括进程传输机构、回程传输机构以及设于进程传输机构和回程传输机构两端的横移装置；进程传输机构包括若干独立的、能够纵向传输工件架前进的进程传输轨道，各进程传输轨道位于同一轴线上，每个进程传输轨道安装于对应的一真空镀膜腔内；回程传输机构包括一平行于进程传输轨道设置的、能够纵向传输工件架返回的回程传输轨道；横移装置包括能够纵向传输工件架移动的对接传输轨道、以及用于驱动对接传输轨道横移使得对接传输轨道能够分别与进程传输轨道和回程传输轨道对接的横移机构。本发明实现了工件架的循环传输，工作的连续性更好，提高了镀膜的效率。

主权项：1.一种应用于功能涂层真空镀膜设备的自动传输结构，其特征在于，包括：进程传输机构，所述进程传输机构包括若干独立的、能够纵向传输工件架前进的进程传输轨道，各所述进程传输轨道位于同一轴线上，每个进程传输轨道安装于对应的一真空镀膜腔内；回程传输机构，所述回程传输机构包括一平行于所述进程传输轨道设置的、能够纵向传输工件架返回的回程传输轨道；以及设于所述进程传输机构和回程传输机构两端的横移装置，所述横移装置包括能够纵向传输工件架移动的对接传输轨道、以及用于驱动所述对接传输轨道横移使得对接传输轨道能够分别与所述进程传输轨道和回程传输轨道对接的横移机构；所述工件架的上端设有T形挂架；所述进程传输轨道包括安装于真空镀膜腔顶部的第一轨道槽，所述第一轨道槽的相对内侧安装有若干对第一传输轮，工件架传输到进程传输轨道时，所述工件架的T形挂架挂在两侧的第一传输轮上；所述回程传输轨道包括第一轨道架以及安装于所述第一轨道架上的第二轨道槽，所述第二轨道槽的相对内侧安装有若干对第二传输轮，工件架传输到回程传输轨道时，所述工件架的T形挂架挂在两侧的第二传输轮上；所述横移机构包括第二轨道架、横移架和横移驱动机构，所述第二轨道架上设有横移轨道，所述横移架滑动安装于所述横移轨道上，所述横移驱动机构用于驱动所述横移架沿所述横移轨道移动，所述对接传输轨道包括第三轨道槽，所述第三轨道槽固定在所述横移架下，第三轨道槽的相对内侧安装有若干对第三传输轮，工件架传输到对接传输轨道时，所述工件架的T形挂架挂在两侧的第三传输轮上；所述进程传输机构还包括安装于真空镀膜腔底部、用于对工件架的下端进行传输导向的第一导轨；所述横移架的下侧连接有吊架，所述横移装置还包括安装在所述吊架的下部、用于对工件架的下端进行传输导向的第二导轨；所述第二导轨朝向真空镀膜腔的一端还设有一引导件，所述引导件朝向真空镀膜腔的一端设有V形引导口；回程传输轨道的下方无需设置导轨。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 圣思科技(廊坊)有限公司 应用于功能涂层真空镀膜设备的自动传输结构

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