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申请/专利权人：北京信息科技大学
申请日：2023-11-13
公开（公告）日：2024-05-07
公开（公告）号：CN117517803B
主分类号：G01R29/12
分类号：G01R29/12;G01R29/08
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.07#授权;2024.02.27#实质审查的生效;2024.02.06#公开
摘要：本发明公开一种垂直调制的谐振式电场传感器及其制备方法，属于传感器技术领域。所述传感器包括：感应电极、垂直驱动单元、衔接梁、激励输入锚点、感应输出锚点和扭转梁组；所述垂直驱动单元包括交叉设置的可动梳齿电极和固定梳齿电极，所述扭转梁组包括两个扭转梁；所述可动梳齿电极通过衔接梁与所述感应电极连接；所述可动梳齿电极的两侧分别与两个扭转梁刚性连接；所述固定梳齿电极与所述激励输入锚点连接；所述感应输出锚点与所述感应电极连接。本发明采用垂直驱动单元实现离面振动调制被测电场，使感应电极可以产生较大的感应电流，提升了电场传感器的灵敏度和分辨力。
主权项：1.一种垂直调制的谐振式电场传感器，其特征在于，所述传感器包括：感应电极、垂直驱动单元、衔接梁、激励输入锚点、感应输出锚点和扭转梁组；所述垂直驱动单元包括交叉设置的可动梳齿电极和固定梳齿电极，所述扭转梁组包括两个扭转梁；所述可动梳齿电极通过衔接梁与所述感应电极连接；所述可动梳齿电极的两侧分别与两个扭转梁刚性连接；所述固定梳齿电极与所述激励输入锚点连接；所述感应输出锚点与所述感应电极连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京信息科技大学 一种垂直调制的谐振式电场传感器及其制备方法
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