申请/专利权人:株式会社岛津制作所
申请日:2019-07-01
公开(公告)日:2024-05-07
公开(公告)号:CN113874980B
主分类号:H01J49/04
分类号:H01J49/04
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.05.07#授权;2022.01.21#实质审查的生效;2021.12.31#公开
摘要:本发明涉及一种离子化装置1,可装卸地安装于离子分析装置的主体2,具备:离子化部10,具有试样载台14和向载置于该试样载台14上的试样照射光的光照射部11、12、13;基体;可动机构,设置于该基体,将所述离子化部保持为可以相对于一个以上的轴移动或者旋转。
主权项:1.一种离子化装置,可装卸地安装于离子分析装置的主体,其特征在于,具备:离子化部,具有试样载台和对载置于该试样载台上的试样照射光的光照射部;基体,保持所述离子化部;可动机构,设置于所述基体,将所述离子化部保持为能够相对于一个以上的轴移动或者旋转。
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