申请/专利权人:新疆蓝晶新材料科技有限公司;北京中企祥科技有限公司
申请日:2023-09-13
公开(公告)日:2024-05-07
公开(公告)号:CN220903059U
主分类号:B25B11/00
分类号:B25B11/00;B24B41/06;G01B21/00;G01B21/22
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.05.07#授权
摘要:本公开涉及一种检测夹具,包括底座、夹持机构以及锁止机构,夹持机构具有第一位置和第二位置,在第一位置,夹持机构与底座围成容纳空间,使得待夹持的晶棒能够放入容纳空间或者使得位于容纳空间的晶棒能够转动;在第二位置,夹持机构和底座用于夹紧处于容纳空间的晶棒;锁止机构分别连接于底座和夹持机构,锁止机构被配置为切换夹持机构的第一位置和第二位置。该检测夹具可以对晶棒找到需要的晶向值时对晶棒进行固定,以提高测量晶向位置的准确性。
主权项:1.一种检测夹具,其特征在于,包括:底座;夹持机构,具有第一位置和第二位置,在所述第一位置,所述夹持机构与所述底座围成容纳空间,使得待夹持的晶棒能够放入所述容纳空间或者使得位于所述容纳空间的晶棒能够转动;在所述第二位置,所述夹持机构和所述底座用于夹紧处于所述容纳空间的晶棒;以及锁止机构,分别连接于所述底座和所述夹持机构,所述锁止机构被配置为切换所述夹持机构的所述第一位置和所述第二位置。
全文数据:
权利要求:
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