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申请/专利权人：芯恩(青岛)集成电路有限公司
申请日：2023-09-20
公开（公告）日：2024-05-07
公开（公告）号：CN220912238U
主分类号：G01B13/10
分类号：G01B13/10
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.07#授权
摘要：本实用新型提供了一种喷嘴孔径测量装置，包括装置本体和压力表；所述装置本体设有供气管路、气体流出接口和气体流入接口；所述供气管路用于通入测量气体，所述气体流出接口和所述气体流入接口与喷嘴连通以构成闭合回路；所述压力表包括测量部，所述测量部设置于所述气体流出接口和所述气体流入接口中的至少一个以测量流经所述喷嘴的气体流量。本实用新型结构简单，测量简单方便，提高了工程师的工作效率，减少了开腔次数，避免了喷嘴频繁更换造成的不必要磨损，喷嘴孔径测量准确度高，可实现喷嘴在使用过程中的磨损程度的监控，改善了晶圆各测量点的厚度范围异常及晶圆均匀性欠佳的问题。
主权项：1.一种喷嘴孔径测量装置，其特征在于，包括：装置本体，设有供气管路、气体流出接口和气体流入接口；所述供气管路用于通入测量气体，所述气体流出接口和所述气体流入接口与喷嘴连通以构成闭合回路；压力表，包括测量部，所述测量部设置于所述气体流出接口和所述气体流入接口中的至少一个以测量流经所述喷嘴的气体流量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芯恩(青岛)集成电路有限公司 喷嘴孔径测量装置
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