龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：上海科技大学
申请日：2023-08-04
公开（公告）日：2024-05-07
公开（公告）号：CN220900820U
主分类号：B05C5/02
分类号：B05C5/02;G03F7/30
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.07#授权
摘要：本实用新型提供一种精密显影涂布头，包括：挤压头上唇、挤压头下唇以及设于所述挤压头上唇和挤压头下唇之间的厚度可调节的垫片；所述挤压头下唇中设置有依次连通的、粗糙度逐级减小的凹槽，所述凹槽与挤压头上唇之间形成多级稳流通道，所述挤压头下唇包括唇口，所述唇口与挤压头上唇之间形成出料口，所述挤压头下唇上设有供料口，所述多级稳流通道连通出料口和供料口；所述挤压头上唇设有若干吹洗通道；本实用新型的精密显影涂布头可以精度控制低粘度显影液流量、涂布厚度，能够实现精密显影、增加显影均匀性、减少缺陷几率、提高图案精细化。
主权项：1.一种精密显影涂布头，其特征在于，包括：挤压头上唇1、挤压头下唇2以及设于所述挤压头上唇1和挤压头下唇2之间的厚度可调节的垫片3；所述挤压头下唇2中设置有依次连通的、粗糙度逐级减小的凹槽，所述凹槽与挤压头上唇1之间形成多级稳流通道，所述挤压头下唇2包括唇口24，所述唇口24与挤压头上唇1之间形成出料口4，所述挤压头下唇2上设有供料口5，所述多级稳流通道连通出料口4和供料口5，所述挤压头上唇1设有若干吹洗通道11。
全文数据：
权利要求：
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号