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申请/专利权人：湖南三安半导体有限责任公司
申请日：2023-08-18
公开（公告）日：2024-05-07
公开（公告）号：CN220907627U
主分类号：C23C14/54
分类号：C23C14/54;C23C16/52
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.07#授权
摘要：一种用于气相沉淀中的真空控制系统，包括：真空泵，反应腔，反应腔与真空泵之间设置有气体管道；设置在所述气体管道上的真空阀；电磁阀，其与真空阀之间设置有第一CDA气管通道以及第二CDA气管通道；电路开关器件和开关控制电路，开关控制电路被配置为基于任一相电缆中的电流信号指示真空泵停机时驱动电路开关器件断开，以控制CDA气体从第一CDA气管通道进入真空阀而关闭真空阀，和或，开关控制电路被配置为基于任一相电缆中的电流信号指示真空泵运行时驱动电路开关器件闭合，以控制CDA气体从第二CDA气管通道进入真空阀而开启真空阀。通过本实用新型的技术方案，可以减少真空泵停机导致气流倒灌污染反应腔的情况的发生。
主权项：1.一种用于气相沉淀中的真空控制系统，其特征在于，包括：真空泵，所述真空泵基于外部的三相供电电缆供电工作；反应腔，所述反应腔与所述真空泵连接，且所述反应腔与所述真空泵之间设置有气体管道；真空阀，所述真空阀设置在所述气体管道上；电磁阀、与所述真空阀连接，用于控制所述真空阀的开启或关闭；所述电磁阀与所述真空阀之间设置有第一压缩干燥空气CDA气管通道以及第二CDA气管通道，其用于控制CDA气体从所述第一CDA气管通道或所述第二CDA气管通道进入所述真空阀以使所述真空阀关闭或开启；电路开关器件，连接于所述电磁阀，用于控制电磁阀的开启或关闭；开关控制电路，连接于所述电路开关器件与所述三相供电电缆之间，所述开关控制电路被配置为基于所述任一相电缆中的电流信号指示所述真空泵停机时驱动所述电路开关器件断开，以控制所述CDA气体从所述第一CDA气管通道进入所述真空阀而关闭所述真空阀，和或，所述开关控制电路被配置为基于所述任一相电缆中的电流信号指示所述真空泵运行时驱动所述电路开关器件闭合，以控制所述CDA气体从所述第二CDA气管通道进入所述真空阀而开启所述真空阀。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖南三安半导体有限责任公司 用于气相沉淀中的真空控制系统
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