首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

一种线性阵列式单离子注入系统 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:上海交通大学

摘要:本发明提出了一种单离子注入系统,包括:线性阵列式单离子获取装置,用于获取以固定距离间隔的线性排列的多个单粒子阵列;激光冷却装置,用于对所述线性单离子阵列进行冷却,使其能够被线性阵列式单离子获取装置长时间稳定捕获;单离子阵列成像装置,用于对所述线性单离子阵列进行成像并确定离子源中的离子数量;单离子阵列提取装置,用于使所述线性阵列式排列的单离子离开所述线性阵列式单离子获取装置并进入电荷探测装置;电荷探测装置,用于获取经过所述电荷探测装置的离子数量并使得所述单个离子能进入聚焦透镜组;所述聚焦透镜组,用于对所述单个离子进行聚焦并加速以使所述单个离子到达目标基板的确定位置;单离子探测装置,用于检测所述单个离子到达所述目标基板的位置以及离子注入信号;所述目标基板,用于接收所述单个离子注入;控制单元,用于根据来自所述电荷探测装置的离子数量信号以及来自所述单离子探测装置的离子注入信号向闸板阀发送关闭信号;以及所述闸板阀,根据所述控制单元的关闭信号关闭阀门以完成一次单离子注入。

主权项:1.一种单离子注入系统,其特征在于,包括:线性阵列式单离子获取装置,用于获取以固定距离间隔的线性排列的多个单粒子阵列;激光冷却装置,用于对所述线性阵列式排列的单个离子进行冷却,使其能够被线性阵列式单离子获取装置长时间稳定捕获;单离子阵列成像装置,用于对所述线性单离子阵列进行成像并确定离子源中的离子数量;单离子阵列提取装置,用于使所述线性阵列式排列的单离子离开所述线性阵列式单离子获取装置并进入电荷探测装置;所述电荷探测装置,用于获取经过所述电荷探测装置的离子数量并使得所述线性单离子阵列中的单个离子能进入聚焦透镜组;所述聚焦透镜组,用于对所述单个离子进行聚焦并加速以使所述单个离子到达目标基板的确定位置;单离子探测装置,用于检测所述单个离子到达所述目标基板的位置以及离子注入信号;所述目标基板,用于接收所述单个离子注入;控制单元,用于根据来自所述电荷探测装置的离子数量信号以及来自所述单粒子探测装置的离子注入信号向闸板阀发送关闭信号;以及所述闸板阀,根据所述控制单元的关闭信号关闭阀门以完成一次单离子注入。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 上海交通大学 一种线性阵列式单离子注入系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。