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申请/专利权人：深圳市中图仪器股份有限公司
申请日：2024-02-02
公开（公告）日：2024-05-10
公开（公告）号：CN118010027A
主分类号：G01C21/20
分类号：G01C21/20;G01B11/24
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.28#实质审查的生效;2024.05.10#公开
摘要：本公开描述一种台阶仪的导航方法及导航系统，台阶仪包括测量机构以及可相对于测量机构运动的载台，测量机构包括视觉模块和以预设方向扫描样品的探针，导航方法包括以视觉模块的视场中心作为坐标原点建立坐标系，预设方向平行于坐标系的水平轴，使载台的样品位于视觉模块的视场以获取样品影像；基于样品影像创建与样品的待测方向相关且与载台联动的基准线，待测方向为预设的探针相对样品的移动方向；基于基准线的位置和姿态控制载台运动以使待测方向平行于预设方向，并使基准线的基准点与坐标原点重合；以基准点在预设方向上的投影与样品的交点作为扫描起始点。由此，能够提供一种能够提高摆正工件的便捷性和准确性的导航方法。
主权项：1.一种台阶仪的导航方法，所述台阶仪包括用于测量样品的测量机构以及用于载置样品且可相对于所述测量机构运动的载台，所述测量机构包括视觉模块和以预设方向扫描样品的探针，其特征在于，所述导航方法包括：以所述视觉模块的视场中心作为坐标原点建立坐标系，所述预设方向平行于所述坐标系的水平轴；基于所述样品在所述载台的位置移动所述载台以使所述载台的样品位于所述视觉模块的视场以获取样品的样品影像；基于所述样品影像在所述坐标系中创建与样品的待测方向相关且与所述载台联动的基准线，所述待测方向为预设的所述探针相对样品的移动方向；基于所述基准线在所述坐标系中的位置和姿态控制所述载台运动以使所述待测方向平行于所述预设方向，并使所述基准线的基准点与所述坐标原点重合；并且以所述基准点在所述预设方向上的投影与样品的交点作为所述探针的扫描起始点。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市中图仪器股份有限公司 台阶仪的导航方法及导航系统
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