申请/专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司

申请日：2024-01-16

公开（公告）日：2024-05-10

公开（公告）号：CN118016578A

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;H01L21/673

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.28#实质审查的生效;2024.05.10#公开

摘要：本发明公开了一种缓存设备、生产系统及加工方法。缓存设备包括第一舟托、第二舟托、提升机构和输送机构，提升机构包括多个第一提升组件和多个第二提升组件，输送机构包括第一输送组件和第二输送组件，多个第一提升组件和多个第二提升组件可以分别缓存多个第一石英舟和多个第二石英舟，第一输送组件和第二输送组件能够分别将第一石英舟和第二石英舟运输至移料区域，并配合第一提升组件和第二提升组件的提升动作解决运输过程中的干涉问题，在实现将单个石英舟分段为第一石英舟和第二石英舟送入工艺设备同时加工，以降低对装卸设备的结构要求的基础上，通过多个第一石英舟和多个第二石英舟的流转加快生产节拍，提高生产效率。

主权项：1.缓存设备，其特征在于，包括：第一舟托，所述第一舟托用于承载第一石英舟；第二舟托，所述第二舟托用于承载第二石英舟；提升机构，包括多个第一提升组件和多个第二提升组件，所述第一提升组件能够承载并沿第一方向提升所述第一舟托，各所述第一提升组件沿第二方向依次排列，所述第二方向垂直于所述第一方向；所述第二提升组件能够承载并沿第一方向提升所述第二舟托，各所述第二提升组件沿所述第二方向依次排列；各所述第一提升组件和各所述第二提升组件沿所述第二方向间隔设置，相邻所述第一提升组件和所述第二提升组件之间限定出移料区域，所述移料区域用于供所述第一舟托和所述第二舟托进行移料；输送机构，包括第一输送组件和第二输送组件，所述第一输送组件用于运载所述第一舟托，所述第一输送组件能够沿所述第二方向运动至与所述第一提升组件和所述移料区域对应，所述第二输送组件用于运载所述第二舟托，所述第二输送组件能够沿所述第二方向运动至与所述第二提升组件和所述移料区域对应。

全文数据：

权利要求：

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