申请/专利权人:贵研检测科技(云南)有限公司;云南省贵金属新材料控股集团股份有限公司
申请日:2023-12-27
公开(公告)日:2024-05-10
公开(公告)号:CN118010460A
主分类号:G01N1/32
分类号:G01N1/32;G01N1/28;G01N21/84
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.05.28#实质审查的生效;2024.05.10#公开
摘要:本发明涉及一种表征芯片引线键合微焊点组织的制样方法,属于材料分析表征制样技术领域。本发明将芯片样品夹持水平固定于模具中,将环氧树脂‑固化剂混合物加入到模具内淹没芯片样品及夹具,静置凝固得到冷镶样;在光学显微镜观察下,采用不同目数砂纸对冷镶样进行逐级磨样:冷镶样初磨至距离芯片样负极端面0.8~1.2mm,对冷镶样的芯片负极端进行粗磨、细磨和抛光至目标微焊点截面位置,采用无痕胶带覆盖冷镶样的芯片负极端;对冷镶样的芯片正极端进行粗磨至露出金属端,得到芯片键合微焊点组织样品;采用电镜观察表征芯片键合微焊点组织样品。本发明制样成本较低,且制样方法简单,短时间即可获得清晰完整的键合微焊点组织样品。
主权项:1.一种表征芯片引线键合微焊点组织的制样方法,其特征在于,具体步骤如下:1将芯片样品夹持水平固定于模具中,所述芯片样品为已去胶芯片样品,芯片样品的微焊点裸露面向下夹持固定;将芯片样品夹持水平固定于模具中,所述芯片样品为未去胶芯片样品,芯片样品的标记面向下夹持固定,所述标记面为微焊点裸露面的背面;将环氧树脂-固化剂混合物加入到模具内淹没芯片样品及夹具,静置凝固得到冷镶样;2采用不同目数砂纸对冷镶样进行逐级磨样:在光学显微镜观察下,冷镶样初磨至距离芯片样品负极端面0.8~1.2mm,对冷镶样的芯片负极端进行粗磨、细磨和抛光至目标微焊点截面位置,采用无痕胶带覆盖冷镶样的芯片负极端;3对冷镶样的芯片正极端进行粗磨至露出金属端,得到芯片键合微焊点组织样品;4采用电镜观察表征芯片键合微焊点组织样品。
全文数据:
权利要求:
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