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申请/专利权人：海宁科海光电科技有限公司
申请日：2024-02-05
公开（公告）日：2024-05-10
公开（公告）号：CN118011653A
主分类号：G02B27/28
分类号：G02B27/28;G02B7/00;G02B7/182
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.28#实质审查的生效;2024.05.10#公开
摘要：本申请公开了一种适用于Mirau物镜参考反射镜焦距微调装置，其属于光学器件设计领域。包括：第一感光件包括光源；所述第一感光件的下方设置干涉物镜；偏振分光器相对于水平面倾斜，所述偏振分光器使光分成s光和p光，所述p光穿过所述偏振分光器照射在被测物的表面上，所述偏振分光器的右侧设置第一检偏器和反射镜，所述第一检偏器和所述反射镜垂直于水平面，所述反射镜朝向所述第一检偏器的表面形成参考平面，所述s光经过所述第一检偏器照射在所述反射镜的参考平面上。本申请的有益效果在于：提供了一种检偏器能调节透过自身的s光的能量，从而实现s光相对p光的最佳对比度，提高测量精度的适用于Mirau物镜参考反射镜焦距微调装置。
主权项：1.一种适用于Mirau物镜参考反射镜焦距微调装置，其特征在于，包括：第一感光件，所述第一感光件包括光源，所述光源向下发出光；所述第一感光件的下方设置干涉物镜，光穿过所述干涉物镜；所述干涉物镜下方设置偏振分光器，所述偏振分光器相对于水平面倾斜，所述偏振分光器使光分成s光和p光，所述p光穿过所述偏振分光器照射在被测物的表面上，所述偏振分光器的右侧设置第一检偏器和反射镜，所述第一检偏器和所述反射镜垂直于水平面，所述反射镜朝向所述第一检偏器的表面形成参考平面，所述s光经过所述第一检偏器照射在所述反射镜的参考平面上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 海宁科海光电科技有限公司 一种适用于Mirau物镜参考反射镜焦距微调装置
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