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【发明授权】减振结构及其制备方法_北京晨晶电子有限公司_202011331830.4 

申请/专利权人:北京晨晶电子有限公司

申请日:2020-11-24

公开(公告)日:2024-05-10

公开(公告)号:CN114542652B

主分类号:F16F15/02

分类号:F16F15/02;H01L23/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.05.10#授权;2022.06.14#实质审查的生效;2022.05.27#公开

摘要:本发明涉及减振设备技术领域,提供一种减振结构及其制备方法,其中减振结构包括:基部,所述基部适于与芯片固定连接;振动梁,所述振动梁在延伸方向上包括至少一段回折梁,所述振动梁一端与所述基部连接,所述振动梁设置有多个,各所述振动梁以所述基部的重心中心对称排布;以及固定部,所述固定部与各所述振动梁一一对应固定,所述固定部适于与基底固定连接。本发明实施例中的减振结构满足实现小型化器件的减振需求,隔离来自载体的强烈振动和冲击,具有结构简单、易于生产、减振效果好和使用安全等优点。

主权项:1.一种减振结构,其特征在于,包括:基部,所述基部适于与芯片固定连接;振动梁,所述振动梁在延伸方向上包括至少一段回折梁,所述振动梁一端与所述基部连接,所述振动梁设置有多个,各所述振动梁以所述基部的重心中心对称排布;以及固定部,所述固定部与各所述振动梁一一对应固定,所述固定部适于与基底固定连接;所述回折梁的长度与宽度的比值k满足:0.5≤k≤100;所述减振结构的固有频率fz满足:fz0.7f1其中,f1为需隔离的环境噪声的最小频率;所述减振结构的所有模态频率f满足:f0.9fw或,f1.1fw其中,fw为所述减振结构的工作频率;所述基部的装配面积Sj与芯片的装配面积Sa满足:Sj≥0.8Sa。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 北京晨晶电子有限公司 减振结构及其制备方法

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