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申请/专利权人：杭州邦齐州科技有限公司
申请日：2023-09-14
公开（公告）日：2024-05-10
公开（公告）号：CN220933226U
主分类号：G02B5/18
分类号：G02B5/18
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.10#授权
摘要：本实用新型公开了一种微纳光栅，包括碳化硅基底、光催化层和保护层。碳化硅基底的一侧具有刻蚀结构。光催化层沉积于碳化硅基底上，光催化层填充刻蚀结构。保护层沉积于光催化层上，保护层用于保护光催化层。相比于现有技术，本实用新型通过合理选择微纳光栅的结构及材质，降低微纳光栅的报废率，从而节约成本。
主权项：1.一种微纳光栅，其特征在于，包括：碳化硅基底，所述碳化硅基底的一侧具有刻蚀结构；沉积于所述碳化硅基底上的光催化层，所述光催化层填充所述刻蚀结构；沉积于所述光催化层上的保护层，所述保护层用于保护所述光催化层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州邦齐州科技有限公司 微纳光栅
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