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申请/专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日：2023-09-20
公开（公告）日：2024-05-10
公开（公告）号：CN220934039U
主分类号：H01L21/677
分类号：H01L21/677;H01L21/673;H01L21/67
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.10#授权
摘要：本实用新型公开了一种硅片转存机构，包括安装板、接片组件、驱动气缸、整片组件和限位组件，接片组件安装在安装板上，接片组件用于接取硅片，驱动气缸安装在安装板上，整片组件滑动连接在安装板上，驱动气缸的输出端连接整片组件，驱动气缸用于带动整片组件沿第一方向推动位于接片组件上的硅片以使位于接片组件上的多个硅片对齐，限位组件安装在安装板上，限位组件用于限制整片组件的移动范围。本实用新型的硅片转存机构，方便硅片的装卸，可以提高硅片的装卸效率，优化了机械结构和控制，便于安装和控制，设置驱动气缸驱动，成本和安装成本较低。
主权项：1.一种硅片转存机构，其特征在于，包括：安装板；接片组件，安装在所述安装板上，所述接片组件用于接取硅片；驱动气缸，安装在所述安装板上；整片组件，滑动连接在所述安装板上，所述驱动气缸的输出端连接所述整片组件，所述驱动气缸用于带动所述整片组件沿第一方向推动位于所述接片组件上的硅片以使位于所述接片组件上的多个硅片对齐；限位组件，安装在所述安装板上，所述限位组件用于限制所述整片组件的移动范围。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 硅片转存机构
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