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一种红外半导体晶体膜镀膜装置 

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申请/专利权人:信阳星原智能科技有限公司

摘要:本实用新型涉及一种红外半导体晶体膜镀膜装置,包括对圆柱基材(10)的外表面进行镀膜的镀膜枪(11),镀膜枪(11)与圆柱基材(10)相对转动,以对圆柱基材(10)外表面的一个圆周区域进行镀膜;还包括能够转动的柱体(21),柱体(21)的外圆周面开设有多段首尾依次连通的环状槽(22),环状槽(22)内设有沿其滑动的卡销(23),通过卡销(23)在多段首尾依次连通的环状槽(22)移动,使镀膜枪(11)能够沿圆柱基材(10)的长度方向间歇移动,以切换对圆柱基材(10)外表面进行镀膜的圆周区域,自动对圆柱基材(10)外表面进行完整镀膜,形成的膜层层厚均匀,提升镀膜效率和镀膜质量。

主权项:1.一种红外半导体晶体膜镀膜装置,包括对圆柱基材(10)的外表面进行镀膜的镀膜枪(11),其特征在于,镀膜枪(11)与圆柱基材(10)相对转动,以对圆柱基材(10)外表面的一个圆周区域进行镀膜;还包括能够转动的柱体(21),柱体(21)的外圆周面开设有多段首尾依次连通的环状槽(22),环状槽(22)内设有沿其滑动的卡销(23),柱体(21)转动使卡销(23)、镀膜枪(11)沿圆柱基材(10)的长度方向间歇移动,以切换对圆柱基材(10)外表面进行镀膜的圆周区域。

全文数据:

权利要求:

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