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申请/专利权人：广东科隆威智能装备股份有限公司
申请日：2023-09-26
公开（公告）日：2024-05-10
公开（公告）号：CN220932829U
主分类号：G01N21/95
分类号：G01N21/95;G01N21/01
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.10#授权
摘要：本实用新型公开一种集合AOI检测与IV检测的自动硅片检测一体机，包括上下料机构、AOI检测机构和IV检测机构，AOI检测机构处于上下料机构与IV检测机构之间，上下料机构包括上下料轨道、暂存直线模组和补料直线模组，AOI检测机构包括AOI前轨道、AOI后轨道、AOI转盘、AOI背面检测工位和AOI正面检测工位，IV检测机构包括IV转盘和IV检测位。该集合AOI检测与IV检测的自动硅片检测一体机可以针对印刷完毕的硅片进行AOI检测与IV检测，同时可适配前后速度而增加暂存位置，也能够根据数量要求进行补片，自动化检测，一体式的多功能结构，满足前后生产的需求。
主权项：1.一种集合AOI检测与IV检测的自动硅片检测一体机，其特征在于，包括上下料机构、AOI检测机构和IV检测机构，所述AOI检测机构处于所述上下料机构与所述IV检测机构之间，所述上下料机构包括上下料轨道、暂存直线模组和补料直线模组，所述暂存直线模组处于所述上下料轨道的中部两侧，所述补料直线模组处于所述上下料轨道的的后端一侧，所述AOI检测机构包括AOI前轨道、AOI后轨道、AOI转盘、AOI背面检测工位和AOI正面检测工位，所述AOI转盘位于所述AOI前轨道的后端，所述AOI后轨道的前端连接至所述AOI转盘的一侧，所述AOI背面检测工位处于所述AOI转盘的前方，所述AOI正面检测工位处于所述AOI后轨道的上方，所述IV检测机构包括IV转盘和IV检测位，所述IV检测位处于所述IV转盘的前方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东科隆威智能装备股份有限公司 一种集合AOI检测与IV检测的自动硅片检测一体机
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