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【发明公布】离子导向器_塞莫费雪科学(不来梅)有限公司_202311511852.2 

申请/专利权人:塞莫费雪科学(不来梅)有限公司

申请日:2023-11-14

公开(公告)日:2024-05-17

公开(公告)号:CN118053732A

主分类号:H01J49/06

分类号:H01J49/06;H01J49/00

优先权:["20221115 GB 2217040.1"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开

摘要:一种离子导向器,包括:离子接收部分和离子出口,该离子接收部分被配置为沿第一轴线接收离子,该离子出口被配置为沿与第一轴线不同的第二轴线从离子导向器射出离子;偏转器电极,该偏转器电极被配置为接收DC电势以使离子远离第一轴线并朝向第二轴线偏转;以及多个电极,该多个电极具有平行于该第二轴线的基本上平面的表面,并且被配置为接收RF电压,使得在相邻电极之间存在电压相位差以由此生成RF场,该RF场朝向离子出口将所偏转的离子引导到第二轴线上。

主权项:1.一种离子导向器,包括:离子接收部分和离子出口,所述离子接收部分被配置为沿第一轴线接收离子,所述离子出口被配置为沿与所述第一轴线不同的第二轴线从所述离子导向器射出离子;偏转器电极,所述偏转器电极被配置为接收DC电势以使离子远离所述第一轴线并朝向所述第二轴线偏转;和多个电极,所述多个电极具有平行于所述第二轴线的基本上平面的表面,并且被配置为接收RF电压,使得在相邻电极之间存在电压相位差以由此生成RF场,所述RF场朝向所述离子出口将所偏转的离子引导到所述第二轴线上,其中所述多个电极被配置为在接收到所述RF电压时生成基本上平面的RF伪电势表面,并且其中所述偏转器电极和所述多个电极在一个方向上分开,并且所述离子导向器被配置为通过所述DC电势和所述RF场的组合在所述方向上和或沿垂直于所述方向的轴线压缩离子束。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 塞莫费雪科学(不来梅)有限公司 离子导向器

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