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申请/专利权人：西北工业大学
申请日：2024-01-22
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN118047346A
主分类号：B81C1/00
分类号：B81C1/00;B82Y30/00;B82Y40/00;C02F1/00;C12Q1/6869;G01N33/68
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要：本发明公开了一种各向异性固态纳米孔的制备方法及其纳米片和应用，涉及纳米结构制造技术领域。该方法包括将固态样品利用聚焦离子束技术获得微米量级的样品片；利用双束电镜中的镓离子源将样品片厚度减薄至纳米量级，获得纳米片；利用聚焦电子束对纳米片进行辐照，在辐照区域形成参考纳米孔；同理在纳米片上位于参考纳米孔一定位置间隔和方向处，制备出目标纳米孔；调整电子束同时对参考纳米孔和目标纳米孔边缘的样品原子进行刻蚀，即可在纳米片上获得各向异性固态纳米孔。本发明通过调整参考纳米孔和目标纳米孔的相对位置控制目标纳米孔的生长方向，实现了各向异性固态纳米孔的形成。
主权项：1.一种各向异性固态纳米孔的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将固态样品利用聚焦离子束技术获得微米量级的样品片；利用双束电镜中的镓离子源将样品片厚度减薄至纳米量级，获得纳米片；将纳米片置于场发射高分辨透射电子显微镜的腔室中，设置实验参数，调整电子束入射方向平行于纳米片的低指数晶带轴方向，将电子束光斑汇聚至最小，利用聚焦电子束对纳米片进行辐照，辐照纳米片一段时间后，在辐照区域形成参考纳米孔；同理在纳米片上位于参考纳米孔一定位置间隔和方向处，制备出目标纳米孔；调整电子束同时对参考纳米孔和目标纳米孔边缘的样品原子进行刻蚀，即可在纳米片上获得各向异性固态纳米孔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西北工业大学 一种各向异性固态纳米孔的制备方法及其纳米片和应用
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