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申请/专利权人：南昌航空大学
申请日：2024-01-16
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN118047628A
主分类号：C04B41/87
分类号：C04B41/87;C30B15/00;C30B15/10;C30B15/14;C30B29/06
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要：一种耐硅元素腐蚀的硅晶炉，包括硅晶炉本体，硅晶炉本体的热结构材料为CC复合材料，CC复合材料的表面设有材质为硅酸锆的耐硅元素腐蚀涂层，该耐硅元素腐蚀涂层通过以下方式制备：将CC复合材料放入喷砂机中，以砂粒为碳化硅颗粒、氧化铝颗粒、石英砂中的任意一种对CC复合材料表面进行喷砂处理；选取硅酸锆为造粒团聚体，在CC复合材料的表面采用大气等离子喷涂，形成耐硅元素腐蚀涂层。本发明的硅晶炉，其中作为热结构材料的CC复合材料的表面设有材质为硅酸锆的耐硅元素腐蚀涂层，使得具有良好的防硅腐蚀、防二氧化硅腐蚀和防一氧化硅腐蚀的效果，避免了热结构材料在高温条件下发生硅化反应而影响热场的稳定性，提高了硅晶炉的使用寿命。
主权项：1.一种耐硅元素腐蚀的硅晶炉，包括硅晶炉本体，所述硅晶炉本体的热结构材料为CC复合材料，其特征在于，所述CC复合材料的表面设有材质为硅酸锆的耐硅元素腐蚀涂层，该耐硅元素腐蚀涂层在CC复合材料的表面通过以下方式制备：将CC复合材料放入喷砂机中，选取碳化硅颗粒、氧化铝颗粒、石英砂中的任意一种砂粒对CC复合材料表面进行喷砂处理；然后选取造粒尺寸为400目～600目的硅酸锆为造粒团聚体，在CC复合材料的表面采用大气等离子喷涂，以在CC复合材料的表面形成耐硅元素腐蚀涂层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南昌航空大学 一种耐硅元素腐蚀的硅晶炉
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