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申请/专利权人：中山大学
申请日：2024-01-25
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN118052188A
主分类号：G06F30/392
分类号：G06F30/392;H10N30/85;H10N30/00;H10N30/20;H03H9/64
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要：本发明公开了一种配置氧化镓SAW滤波器的芯片及其设计优化方法，涉及芯片设计工艺，针对现有技术中谐振器方向固定的问题提出本方案。至少两个谐振器的长轴之间形成非零夹角；所有谐振器均设有ε相氧化镓压电薄膜，且每一ε相氧化镓压电薄膜的晶面均为001。优点在于，充分利用了ε‑Ga2O3压电薄膜给器件设计带来的灵活性，将滤波器的并联谐振器作适度旋转，规避了所有器件平行摆放时，由于排布方式制约所带来的版图面积优化幅度有限的问题。相比普通设计，芯片面积大大减小，可以进一步节约材料成本。解决了方向性限制，可以降低版图设计的难度，方便简化设计流程，实用性高，适合大多数的电路拓扑结构，能减少产品开发在版图设计这一环节占用的时间。
主权项：1.设计优化方法，其特征在于，SAW滤波器中至少两个谐振器的长轴之间形成非零夹角；所述SAW滤波器中的所有谐振器均设有ε相氧化镓压电薄膜，且每一ε相氧化镓压电薄膜的晶面均为001。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中山大学 一种配置氧化镓SAW滤波器的芯片及其设计优化方法
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