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申请/专利权人：宁波平恒电子材料有限公司
申请日：2024-02-23
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN118048109A
主分类号：C09G1/02
分类号：C09G1/02
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要：本发明涉及一种二氧化铈抛光液及其制备方法，所述二氧化铈抛光液的制备原料按质量百分含量计，包括：1‑29％的二氧化铈浆料，0.01‑1％的有机酸添加剂，0.01‑1％的pH值调节剂，0.01‑1％的分散剂，0.001‑0.1％的杀菌剂，余量为水。本发明提供的二氧化铈抛光液具有较高的二氧化硅抛光速率和二氧化硅氮化硅选择比，并且研磨颗粒的粒径均匀，大颗粒较少，能够有效避免产生抛光缺陷。
主权项：1.一种二氧化铈抛光液，其特征在于，所述二氧化铈抛光液的制备原料按质量百分含量计，包括：1-29％的二氧化铈浆料，0.01-1％的有机酸添加剂，0.01-1％的pH值调节剂，0.01-1％的分散剂，0.001-0.1％的杀菌剂，余量为水。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁波平恒电子材料有限公司 一种二氧化铈抛光液及其制备方法
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