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申请/专利权人：武汉百臻半导体科技有限公司
申请日：2024-03-28
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN118045820A
主分类号：B08B9/023
分类号：B08B9/023;B08B9/032;B08B13/00
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.11#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要：本发明公开一种石英管清洗槽，包括槽本体，槽本体的上侧开口处连接有上盖，槽本体两侧内壁设有导轨，槽本体设有若干个挂载板，每个挂载板的两侧分别与对应侧的导轨滑动配合，每个挂载板均设有若干个定位孔，若干个挂载板上的相同位置的定位孔的轴线对齐；槽本体设有第一进液管口、第二进液管口、排液管口、溢流管口；槽本体的前后两侧内壁沿长度方向分别设有喷淋管，每个喷淋管均设有若干个喷嘴，喷淋管的一端贯穿槽本体，并连接固定于槽本体外壁的进液接头；槽本体的底板上侧设有板式加热器和冒泡管，冒泡管的一端贯穿槽本体，并连接固定于槽本体外壁的进气接头；本发明提高了清洗效率和效果，同时确保了操作的安全性和环境的友好性。
主权项：1.一种石英管清洗槽，其特征在于，包括：槽本体1，所述槽本体1的上侧开口处连接有上盖2，所述槽本体1的前后两侧内壁沿长度方向分别设有导轨3，所述槽本体1的内部沿长度方向间隔设有若干个挂载板4，每个所述挂载板4的两侧分别与对应侧的所述导轨3滑动配合，每个所述挂载板4均设有若干个定位孔401，若干个所述挂载板4上的相同位置的定位孔401的轴线互相对齐；所述槽本体1的左侧壁设有第一进液管口5和第二进液管口6，所述槽本体1的底板设有排液管口29，所述槽本体1的前侧壁设有溢流管口30；所述槽本体1的前后两侧内壁沿长度方向分别设有喷淋管7，每个所述喷淋管7均设有若干个喷嘴701，所述喷淋管7的一端贯穿所述槽本体1，并连接固定于所述槽本体1外壁的进液接头12；所述槽本体1的底板上侧设有板式加热器和冒泡管8，所述冒泡管8的一端贯穿所述槽本体1，并连接固定于所述槽本体1外壁的进气接头。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉百臻半导体科技有限公司 一种石英管清洗槽、清洗机及清洗方法
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