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申请/专利权人：聚勒微电子科技(太仓)有限公司
申请日：2024-03-01
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN118048678A
主分类号：C30B7/10
分类号：C30B7/10;C30B29/38;B01D46/64;B01D46/88;B01D53/86;B01D53/22;B01D53/04
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要：本发明公开了一种氮化单晶生长用炉体结构，包括炉体，所述炉体的底端设置有方便顶出取料的顶升机构；本发明通过顶升机构的设置，方便对氮化单晶取放的优点，不仅无需借助外置吊装设备，而且操作简单便捷，同时利于提高取放效率以及整体的操作效率，利用电机通过第一齿轮带动第二齿轮旋转，然后其会带动第一螺纹套管一同进行转动，此外螺纹杆和第一螺纹套管的螺纹配合会使螺纹杆顶升以至于带动顶部的放置座上移，从而处于炉体的顶部，以至于直接取放操作即可，经气体处理机构和连接机构的设置，具备了方便对废气进行过滤处理的优点，同时还可方便对滤除部件进行辅助更换的优点，以至于保证其过滤性。
主权项：1.一种氮化单晶生长用炉体结构，其特征在于：包括炉体（1），所述炉体（1）的底端设置有方便顶出取料的顶升机构（2），所述炉体（1）一侧的下部设置有气体处理机构（3），所述气体处理机构（3）的外侧设置有连接机构（4），所述炉体（1）的内壁设置有保温机构（5），所述顶升机构（2）的上方设置有冷热机构（6），所述炉体（1）的顶部设置有盖合机构（7），所述顶升机构（2）包括支架（21），所述支架（21）固定安装于炉体（1）的底部；所述支架（21）底部的一端栓接有电机（22），所述电机（22）的输出轴键连接有第一齿轮（23），所述第一齿轮（23）的一侧啮合有第二齿轮（24），所述第二齿轮（24）的内壁固定安装有第一螺纹套管（25），所述第一螺纹套管（25）的内壁螺纹连接有螺纹杆（26），所述炉体（1）底部的中心处贯穿式安装有第二螺纹套管（27），所述螺纹杆（26）的顶端设置有放置座（28）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 聚勒微电子科技(太仓)有限公司 一种氮化单晶生长用炉体结构
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