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申请/专利权人：北京北方华创真空技术有限公司
申请日：2024-03-28
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN118049862A
主分类号：F27D7/06
分类号：F27D7/06;F27D19/00
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要：本申请涉及一种关于真空炉的可变真空装置及抽真空方法，包括真空炉炉体与扩散泵，真空炉炉体与扩散泵之间设有用于连通真空炉炉体内部与扩散泵的真空管道，真空管道内部设有挡板，挡板连接有用于调节挡板角度的调节组件；真空管道外壁开设有连通真空管道内壁的检测口，检测口内放置有真空检测件，扩散泵还连接有控制中心，真空检测件以及调节组件均与控制中心电连接。本申请具有对真空炉炉体内进行真空处理时，打开扩散泵，真空检测件对真空炉炉体内部的真空度进行实时测量并将数据传递到控制中心，控制中心通过伺服电机调节挡板的角度，从而改变真空管道的口径，进而改变真空度，简化了装置的结构，降低了可变真空装置的使用成本的效果。
主权项：1.一种关于真空炉的可变真空装置，包括真空炉炉体（1）与扩散泵（2），所述真空炉炉体（1）与扩散泵（2）之间设有用于连通真空炉炉体（1）内部与扩散泵（2）的真空管道（3），所述真空管道（3）内部设有挡板（4），所述挡板（4）连接有用于调节挡板（4）角度的调节组件（5）；所述真空管道（3）外壁开设有连通真空管道（3）内壁的检测口（31），所述检测口（31）内放置有真空检测件（7），所述扩散泵（2）还连接有控制中心（6），所述真空检测件（7）以及调节组件（5）均与控制中心（6）电连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创真空技术有限公司 一种关于真空炉的可变真空装置及抽真空方法
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