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申请/专利权人：武汉江丰电子材料有限公司
申请日：2024-04-02
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN118045802A
主分类号：B08B3/02
分类号：B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要：本发明涉及靶材清洁技术领域，尤其涉及一种旋转靶材清洁工装。主要包括清洁组件。清洁组件呈环形，清洁组件具有通孔，旋转靶材穿设于通孔中，以使清洁组件围设于旋转靶材的外周侧，且旋转靶材与通孔同轴设置。通孔的内壁上设置有多个喷嘴，且多个喷嘴阵列设置，喷嘴与旋转靶材的外表面之间设有预设间隙。此外，清洁组件的外壁上设置有进液口，进液口的一端与喷嘴连通，进液口的另一端与高压异丙醇储罐连通，高压异丙醇储罐能够将异丙醇清洁液依次经过进液口和喷嘴喷洒至旋转靶材的外表面。通过该旋转靶材清洁工装对旋转靶材进行清洁能够省时省力，无需现有技术中的工人手持净化布进行人工清洁的操作，提高工作效率，节约成本。
主权项：1.旋转靶材清洁工装，用于对旋转靶材1000的外表面清洁，其特征在于，所述旋转靶材清洁工装包括：清洁组件100，所述清洁组件100呈环形，所述清洁组件100具有通孔110，所述旋转靶材1000穿设于所述通孔110中，以使所述清洁组件100围设于所述旋转靶材1000的外周侧，且所述旋转靶材1000与所述通孔110同轴设置；所述清洁组件100包括多个喷嘴120，多个所述喷嘴120设置在所述通孔110的内壁上，且多个所述喷嘴120阵列设置，所述喷嘴120与所述旋转靶材1000的外表面之间设有预设间隙；所述清洁组件100的外壁上设置有进液口130，所述进液口130的一端与所述喷嘴120连通，所述进液口130的另一端与高压异丙醇储罐连通，所述高压异丙醇储罐能够将异丙醇清洁液依次经过所述进液口130和所述喷嘴120喷洒至所述旋转靶材1000的外表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉江丰电子材料有限公司 旋转靶材清洁工装
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