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申请/专利权人：齐戈股份有限公司
申请日：2022-07-21
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN118056119A
主分类号：G01M11/02
分类号：G01M11/02
优先权：["20210728 US 63/226,449"]
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要：一种用于确定关于多部件组件的一个或多个光学部件的对准的信息的方法和装置，包括：检测由至少三个光学波前的组合产生的光学干涉图案，至少三个光学波前包括由来自一个或多个光学部件的至少两个表面的反射引起的至少两个光学波前；以及利用从至少两个表面中的至少一个选定光学表面的模型中导出的至少一个模拟光学波前来计算处理从检测到的光学干涉图案中导出的信息，以计算分离与选定光学表面的对准相对应的信息。
主权项：1.一种用于确定关于多部件组件的一个或多个光学部件的对准的信息的方法，所述方法包括：a.检测由至少三个光学波前的组合产生的光学干涉图案，所述至少三个光学波前包括由来自所述一个或多个光学部件的至少两个表面的反射引起的至少两个光学波前；以及b.利用从所述至少两个表面中的至少一个选定光学表面的模型中导出的至少一个模拟光学波前来计算处理从检测到的光学干涉图案中导出的信息，以计算分离与所述选定光学表面的对准相对应的信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 齐戈股份有限公司 干涉测量透镜对准器和方法
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