申请/专利权人:广州达安基因股份有限公司
申请日:2022-11-17
公开(公告)日:2024-05-17
公开(公告)号:CN118050412A
主分类号:G01N27/62
分类号:G01N27/62
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要:本申请实施例属于飞行时间核酸质谱芯片技术领域,涉及一种质谱芯片的制作方法及质谱芯片,包括将晶圆切割成硅片,并超声清洗;对所述硅片进行疏水修饰,获得疏水修饰后的硅片;在所述疏水修饰后的硅片表面的指定区域进行亲水位点和视觉识别定位点的激光刻印,超声清洗,获得质谱芯片基片;使用点样仪通过所述视觉识别定位点,将配置好的基质溶液滴加到刻印好的所述亲水位点,获得所述质谱芯片。本申请降低质谱芯片加工成本。
主权项:1.一种质谱芯片的制作方法,其特征在于,包括下述步骤:将晶圆切割成硅片,并超声清洗;对所述硅片进行疏水修饰,获得疏水修饰后的硅片;在所述疏水修饰后的硅片表面的指定区域进行亲水位点和视觉识别定位点的激光刻印,超声清洗,获得质谱芯片基片;使用点样仪通过所述视觉识别定位点,将配置好的基质溶液滴加到刻印好的所述亲水位点,获得所述质谱芯片。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 广州达安基因股份有限公司 质谱芯片的制作方法及质谱芯片
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