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【发明公布】沉积源蒸发设备和制造沉积源蒸发设备的方法_三星显示有限公司_202410206533.9 

申请/专利权人:三星显示有限公司

申请日:2020-02-24

公开(公告)日:2024-05-17

公开(公告)号:CN118048611A

主分类号:C23C14/24

分类号:C23C14/24;C23C14/04

优先权:["20190227 KR 10-2019-0023286"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开

摘要:公开了一种沉积源蒸发设备和制造沉积源蒸发设备的方法。该沉积源蒸发设备包括:坩埚组,用于容纳沉积源;喷射单元,位于坩埚组上;加热器,位于坩埚组中用于加热坩埚组以通过喷射单元蒸发沉积源;以及防热辐射板,围绕喷射单元以阻挡喷射单元的侧面的热辐射。坩埚单元和防热辐射板中的至少一个包括碳纤维复合材料。

主权项:1.一种沉积源蒸发设备,所述沉积源蒸发设备包括:第一坩埚组,用于容纳沉积源;喷射单元,位于所述第一坩埚组上;加热器,位于所述第一坩埚组中用于加热所述第一坩埚组以通过所述喷射单元蒸发所述沉积源;以及防热辐射板,围绕所述喷射单元用于阻挡所述第一坩埚组的侧面处的热辐射,其中,所述第一坩埚组包括:内坩埚,用于容纳所述沉积源;外坩埚,容纳所述内坩埚并构造为将热量从所述加热器传递到所述内坩埚;壳体,容纳所述外坩埚和所述加热器;冷却套,容纳所述壳体;冷却剂循环单元,位于所述冷却套上;以及热辐射板,位于所述壳体的内壁上,其中,所述壳体、所述热辐射板和所述外坩埚是相同材料的一体的主体,并且其中,所述第一坩埚组和所述防热辐射板中的至少一个包括碳纤维复合材料。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 三星显示有限公司 沉积源蒸发设备和制造沉积源蒸发设备的方法

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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

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