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申请/专利权人：北京理工大学
申请日：2024-02-28
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN118047347A
主分类号：B81C1/00
分类号：B81C1/00;A61B3/16;B82Y15/00;B82Y30/00;B82Y40/00
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要：本发明公开了一种柔性曲面眼压监测传感器的制备方法，属于柔性传感器制造技术领域，制备方法为引入牺牲层基底，实现曲面眼压传感器的设计及制备。首先在洁净硅片上通过蒸镀铜牺牲层，随后旋涂聚甲基丙烯酸甲酯PMMA牺牲转移基底，通过掩膜，利用喷涂将MXene沉积在电极处，得到图案化电极，随后覆盖一层PDMS，随后使用FeCl3刻蚀剂去除Cu牺牲层得到剥离器件，将PDMS封装好的器件在去离子水中清洗后，用定制铜模具热压成型后丙酮去除PMMA牺牲层得到柔性曲面眼压监测传感器；本发明公开的制备方法是采用PMMA牺牲层，转移二维电极，制备曲面型传感器，贴合人眼，具有优异的舒适性及可佩戴性，随眼压变化具有高度灵敏度，在非植入式眼压监测有着潜在应用场景。
主权项：1.一种柔性曲面眼压监测传感器的制备方法，其特征在于，具体包括以下步骤：S1、在表面洁净的硅片上，蒸镀一层金属牺牲层后，旋涂一层聚合物牺牲层，透过掩模板喷涂将敏感材料沉积到眼压传感器的电极区域；S2、在步骤S1中得到的电极上封装一层聚二甲基硅氧烷PDMS后，置入三氯化铁FeCl3铜刻蚀剂中，浸泡2h，去除金属牺牲层，得到封装好的器件；S3、使用去离子水冲洗步骤S2得到的器件，使用定制铜模具，在160～180℃鼓风箱内热压30～60min，形成曲面，曲面成型后，将曲面器件浸泡在丙酮中去除聚合物牺牲层，即可得到柔性曲面眼压监测传感器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京理工大学 一种柔性曲面眼压监测传感器的制备方法
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