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申请/专利权人：福吉米株式会社
申请日：2022-09-27
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN118055994A
主分类号：C09K3/14
分类号：C09K3/14;B24B37/00;C09G1/02;C09G1/04;H01L21/304
优先权：["20210930 JP 2021-162176"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.05.17#公开
摘要：本发明提供一种能够对研磨对象物实现优异的研磨去除速度的研磨用组合物。本发明提供一种用于研磨对象物的研磨的研磨用组合物。上述研磨用组合物包含水以及作为氧化剂的高锰酸钠。在一些优选的方式中，上述研磨用组合物还包含选自阳离子与阴离子的盐中的金属盐，所述阳离子包含属于周期表的第3～16族的金属。上述研磨用组合物也可以优选地应用于由具有1500Hv以上的维氏硬度的高硬度材料所构成的研磨对象物的研磨。
主权项：1.一种研磨用组合物，其包含水以及作为氧化剂的高锰酸钠。
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