申请/专利权人:隆基绿能科技股份有限公司
申请日:2024-01-22
公开(公告)日:2024-05-17
公开(公告)号:CN118048681A
主分类号:C30B15/00
分类号:C30B15/00;C30B29/06;F27B14/14;F27B14/10
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要:本申请提供了一种单晶硅棒拉制方法、换热装置和单晶硅棒拉制装置。所述单晶硅棒拉制方法包括:提供主炉体,所述主炉体内装有坩埚、加热器以及换热器,在所述换热器中通入第一介质,所述坩埚盛放有硅料;启动所述加热器将所述硅料熔化成硅液,以在所述硅液中执行拉晶操作,并向所述换热器中通入第二介质。本申请实施例可以提高所述换热器的换热能力,以提高所述单晶硅棒拉制过程中的晶体生长速度,并相应提高所述单晶硅棒的拉制速度。
主权项:1.一种单晶硅棒拉制方法,其特征在于,所述单晶硅棒拉制方法包括:提供主炉体,所述主炉体内装有坩埚、加热器以及换热器,在所述换热器中通入第一介质,所述坩埚盛放有硅料;启动所述加热器将所述硅料熔化成硅液,以在所述硅液中执行拉晶操作,并向所述换热器中通入第二介质。
全文数据:
权利要求:
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