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申请/专利权人：铜陵富仕三佳机器有限公司
申请日：2024-02-20
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN118053791A
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;H01L21/56
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要：本发明提供一种全包覆的塑封装置及工艺，包括塑封压机顶板、模具上模以及模具下模，模具上模以及模具下模之间形成覆膜区域，模具型腔外侧安装有覆膜装置，所述覆膜装置包括控制上离型膜穿过模具型腔的上覆膜部件，以及控制下离型膜穿过模具型腔的下覆膜部件。该发明通过上、下两张离型膜对晶圆载板进行除底面以外所有面的全包覆的封装，且无须模具设置顶出动作即可脱模取出产品，提高了封装的效率，提高了晶圆表面的空间利用率。
主权项：1.一种全包覆的塑封装置，包括塑封压机顶板（1）、模具上模（2）以及模具下模（3），模具上模（2）以及模具下模（3）之间形成覆膜区域，模具型腔外侧安装有覆膜装置，其特征在于：所述覆膜装置包括控制上离型膜穿过模具型腔的上覆膜部件（5），以及控制下离型膜穿过模具型腔的下覆膜部件（6）；其中，将表面布置有芯片的晶圆载板和液体树脂放置于模具型腔处且位于上离型膜和下离型膜之间，模具上模（2）以及模具下模（3）相互靠近抵紧完成对晶圆载板的压缩塑封。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 铜陵富仕三佳机器有限公司 一种全包覆的塑封装置及工艺
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