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申请/专利权人：北京北方华创真空技术有限公司
申请日：2024-04-01
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN118045454A
主分类号：B01D53/00
分类号：B01D53/00;B01D53/40;B01D53/78
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要：本申请公开了一种SiC化学气相沉积设备尾气处理装置，涉及尾气处理的技术领域，包括冷凝处理单元和中和处理单元，冷凝处理单元内设置有冷凝除尘器和第一制冷机，冷凝除尘器用于与反应室的排气通道相连通，以将尾气中的可凝性气体清除，第一制冷机用于持续为冷凝除尘器制冷；中和处理单元包括碱液池和液环泵，碱液池用于盛装碱性液体，碱液池与冷凝除尘器相连通，碱液池用于清除尾气中的酸性腐蚀气体；液环泵连通于冷凝除尘器与碱液池之间，液环泵开设有抽液口、抽气口和排料口，液环泵通过抽气口与冷凝除尘器相连通，液环泵分别通过抽液口和排料口与碱液池相连通。本申请具有减少尾气污染影响的效果。
主权项：1.一种SiC化学气相沉积设备尾气处理装置，其特征在于：包括冷凝处理单元，所述冷凝处理单元包括冷凝除尘器（1）和第一制冷机（5），所述冷凝除尘器（1）用于与反应室（4）的排气通道相连通，以将尾气中的可凝性气体清除，所述第一制冷机（5）用于持续为冷凝除尘器（1）制冷；中和处理单元，所述中和处理单元包括碱液池（3）和液环泵（2），所述碱液池（3）用于盛装碱性液体，所述碱液池（3）与冷凝除尘器（1）相连通，所述碱液池（3）用于清除尾气中的酸性腐蚀气体；所述液环泵（2）连通于冷凝除尘器（1）与碱液池（3）之间，所述液环泵（2）开设有抽液口、抽气口和排料口，所述液环泵（2）通过抽气口与冷凝除尘器（1）相连通，所述液环泵（2）分别通过抽液口和排料口与碱液池（3）相连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创真空技术有限公司 一种SiC化学气相沉积设备尾气处理装置
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