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申请/专利权人：应用材料公司
申请日：2022-10-05
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN118056164A
主分类号：G05B19/418
分类号：G05B19/418;G06N20/00;H01L21/67
优先权：["20211006 US 17/495,140"]
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要：提供了一种用于制造系统处的时间约束管理的方法。该方法包括：接收启动要在制造系统处运行的操作集合的请求，其中该操作集合包括一个或多个操作，每个操作具有一个或多个时间约束。该方法进一步包括：获得与该制造系统的当前状态有关的当前数据。该方法进一步包括：将机器学习模型应用于该当前数据，以确定要在该操作集合期间处理的候选基板集合。该方法进一步包括：基于该机器学习模型的输出，在该候选基板集合上启动该操作集合。
主权项：1.一种方法，包括：接收启动要在制造系统处运行的操作集合的请求，其中所述操作集合包括一个或多个操作，每个操作具有一个或多个时间约束；获得与所述制造系统的当前状态有关的当前数据；将机器学习模型应用于所述当前数据，以确定要在所述操作集合期间处理的候选基板集合；以及基于所述机器学习模型的输出，在所述候选基板集合上启动所述操作集合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 制造系统处的时间约束管理
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