申请/专利权人:中国科学院微电子研究所
申请日:2023-12-06
公开(公告)日:2024-05-17
公开(公告)号:CN118053901A
主分类号:H01L29/778
分类号:H01L29/778;H01L23/552;H01L21/335
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要:本发明提供了一种宽禁带半导体器件及制备方法,该宽禁带半导体器件包括:衬底;位于衬底一侧的外延层;位于衬底与外延层之间的P型层;其中,P型层中具有空穴,当单粒子入射到该宽禁带半导体器件中后,外延层中会产生大量的非平衡载流子,从而产生极高的电流脉冲,P型层中的空穴会消耗外延层产生的非平衡载流子,从而降低电流脉冲的强度,进一步的抑制单粒子烧毁效应的发生。
主权项:1.一种宽禁带半导体器件,其特征在于,所述宽禁带半导体器件包括:衬底;位于所述衬底一侧的外延层;位于所述衬底与所述外延层之间的P型层;其中,所述P型层中具有空穴,所述空穴用于在单粒子入射至所述宽禁带半导体器件时,消耗由所述外延层产生的非平衡载流子。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 中国科学院微电子研究所 一种宽禁带半导体器件及制备方法
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