申请/专利权人：中国科学技术大学

申请日：2018-02-28

公开（公告）日：2024-05-17

公开（公告）号：CN108120459B

主分类号：G01D5/26

分类号：G01D5/26

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.05.17#授权;2018.06.29#实质审查的生效;2018.06.05#公开

摘要：本发明实施例公开了一种光纤法布里珀罗传感器及其制作方法、测试装置，该传感器包括：相对的第一光纤和第二光纤，所述第一光纤朝向所述第二光纤一侧的第一端面为凹形曲面，且所述第一端面和所述第二光纤朝向所述第一光纤一侧的第二端面对接形成一微腔，所述微腔为稳定腔；其中，所述第一端面的凹形曲面通过二氧化碳激光处理得到，且以所述第一光纤的中轴线与所述第一端面的交点为中心，第一数值为直径的曲面区域为等效球面，以使得本发明实施例所提供的光纤法布里珀罗传感器具有良好的模式匹配，超高的精细度，较大的自由光谱范围，较窄的微腔线宽，良好的稳定性以及较小的体积和较高的集成度。

主权项：1.一种光纤法布里珀罗传感器，其特征在于，包括：相对的第一光纤和第二光纤，所述第一光纤朝向所述第二光纤一侧的第一端面为凹形曲面，且所述第一端面和所述第二光纤朝向所述第一光纤一侧的第二端面对接形成一微腔，所述微腔为稳定腔，其中，所述微腔具有开口，以便根据所述开口向所述微腔填充测量液体；其中，所述第一端面的凹形曲面通过二氧化碳激光处理得到，且以所述第一光纤的中轴线与所述第一端面的交点为中心，第一数值为直径的曲面区域为等效球面，所述第二光纤朝向所述第一光纤一侧的第二端面为凹形曲面，且所述第二端面通过二氧化碳激光处理得到，且以所述第二光纤的中轴线与所述第二端面的交点为中心，第二数值为直径的曲面区域为等效球面，所述等效球面包括任意取过所述第一光纤中轴线的截面得到的剖面曲线的预设曲率半径相等。

全文数据：光纤法布里珀罗传感器及其制作方法、测试装置技术领域[0001]本发明涉及传感器技术领域，尤其涉及一种光纤法布里珀罗传感器及其制作方法，以及一种包括该光纤法布里珀罗传感器的测试装置。背景技术[0002]外腔式光纤法布里拍罗传感器由两个光纤端面对准后形成，其中，两个光纤端面之间具有一定的空气腔。这种传感器结构简单，抗干扰能力强，具有微型化，电绝缘性能好，耐腐蚀，可测量物理参量多等优点，拥有广泛的研宄和应用。但是，现有外腔式光纤法布里珀罗传感器的精细度较低。发明内容[0003]为解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种光纤法布里珀罗传感器，以提高所述光纤法布里珀罗传感器的精细度。[0004]为解决上述问题，本发明实施例提供了如下技术方案：[0005]一种光纤法布里珀罗传感器，包括：[0006]相对的第一光纤和第二光纤，所述第一光纤朝向所述第二光纤一侧的第一端面为凹形曲面，且所述第一端面和所述第二光纤朝向所述第一光纤一侧的第二端面对接形成一微腔，所述微腔为稳定腔；[0007]其中，所述第一端面的凹形曲面通过二氧化碳激光处理得到，且以所述第—光纤的中轴线与所述第一端面的交点为中心，第一数值为直径的曲面区域为等效球面。[0008]优选的，所述第一端面的凹形曲面为抛物面或高斯面。[0009]优选的，所述第二光纤朝向所述第一光纤一侧的第二端面为凹形曲面，且所述第二端面通过二氧化碳激光处理得到，且以所述第二光纤的中轴线与所述第二端面的交卢为中心，第二数值为直径的曲面区域为等效球面。M[0010]优选的，所述第二端面的凹形曲面为抛物面或高斯面。[0011]优选的，所述第一端面上镀有第一反射膜，和或，所述第二端面上镀有第二反射膜。[0012]优选的，所述第一反射膜包括层叠的五氧化二钽薄膜和二氧化硅薄膜;所述第二反射膜包括层叠的五氧化二钽薄膜和二氧化硅薄膜。W一[0013]优选的，所述第一端面和所述第二端面的对接工艺为熔接或粘接。[0014]优选的，所述第一光纤为单模光纤或多模光纤或光子晶体光纤.所述第二光纤％单模光纤或多模光纤或光子晶体光纤。[0015]优选的，所述微腔具有开口。[0016]—种光纤法布里珀罗传感器的制作方法，该方法包括：[0017]去除第一光纤尾端的涂覆层，得到第一端面；[0018]去除第二光纤尾端的涂覆层，得到第二端面；[0019]利用二氧化碳激光处理所述第一端面，使得所述第一端面为凹形曲面，且以所述第一光纤的中轴线与所述第一端面的交点为中心，第一数值为直径的曲面区域为等效球面；[0020]对接所述第一端面和第二端面，得到一微腔，并固定连接所述第一光纤和所述第二光纤，制得所述光纤法布里拍罗传感器，所述微腔为稳定腔。[0021]优选的，该方法在对接所述第一端面和第二端面，得到一微腔前还包括：[0022]利用二氧化碳激光处理所述第二端面，使得所述第二端面为凹形曲面，且以所述第二光纤的中轴线与所述第二端面的交点为中心，第二数值为直径的曲面区域为等效球面。[0023]优选的，该方法在对接所述第一端面和第二端面，得到一微腔前还包括：[0024]在所述第一端面镀第一反射膜;在所述第二端面镀第二反射膜。[0025]一种测试装置，包括：[0026]上述任一项所述的光纤法布里珀罗传感器；[0027]位于所述第一光纤背离所述第二光纤一侧的光源，所述光源用于向所述光纤法布里珀罗传感器发射连续波长的激光；[0028]位于所述第二光纤背离所述第一光纤一侧的光谱仪，所述光谱仪用于接收所述光纤法布里珀罗传感器出射的光线。[0029]与现有技术相比，上述技术方案具有以下优点：[0030]本发明实施例所提供的光纤法布里珀罗传感器由第一光纤和第二光纤两段光纤对接形成，其中，所述第一光纤朝向所述第二光纤一侧的第一端面为凹形曲面，从而可以在第一光纤和第二光纤两段光纤对接后形成一个空气微腔，所述微腔为稳定腔，以使得本发明实施例所提供的光纤法布里珀罗传感器具有良好的模式匹配，超高的精细度，较大的自由光谱范围，较窄的微腔线宽，良好的稳定性以及较小的体积和较高的集成度。附图说明[0031]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。[0032]图1为本发明一个实施例所提供的光纤法布里珀罗传感器对接前的结构示意图；[0033]图2为本发明一个实施例所提供的光纤法布里珀罗传感器对接后的结构示意图；[0034]图3为本发明一个实施例所提供的光纤法布里珀罗传感器的制作方法的流程图；[0035]图4为本发明另一个实施例所提供的光纤法布里珀罗传感器的制作方法的流程图；[0036]图5为本发明又一个实施例所提供的光纤法布里珀罗传感器的制作方法的流程图；[0037]图6为本发明再一个实施例所提供的光纤法布里珀罗传感器的制作方法的流程图；[0038]图7为本发明一个实施例所提供的测试装置的结构示意图。具体实施方式[0039]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。[0040]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。[0041]正如背景技术部分所述，现有外腔式光纤法布里珀罗传感器的精细度较低。[0042]传统的基于光纤的法布里珀罗传感器的微腔的光纤端面有平面和非平面两种。其中，基于平面的外腔式光纤法布里珀罗传感器的光纤端面由机械研磨加工而来，其光纤端面的粗糙度可以做到很低如〇•lnm，降低了散射损耗，从而在所述法布里珀罗传感器的光纤端面上镀反射膜，可以获得较高的反射率。但是，根据光学谐振腔理论可知，基于平面的外腔式光纤法布里珀罗传感器中，由于两个光纤端面是平面，对接形成的微腔不是稳定腔，存在光场的泄漏，大大降低了平面的外腔式光纤法布里珀罗传感器的精细度，一般不超过1000〇[0043]基于非平面的外腔式光纤法布里珀罗传感器的光纤端面采用飞秒激光加工或化学腐蚀得到，这种方法得到所述光纤端面的粗糙度极高，散射损耗较大，反射率难以提高，导致基于非平面的外腔式光纤法布里珀罗传感器的精细度也较低，无法得到1000以上的精细度，限制了所述光纤法布里珀罗传感器的应用。[0044]有鉴于此，本发明实施例提供了一种光纤法布里珀罗传感器，如图1和图2所示，该传感器包括：[0045]相对的第一光纤1和第二光纤2,所述第一光纤1朝向所述第二光纤2—侧的第一端面11为凹形曲面，且所述第一端面11和所述第二光纤2朝向所述第一光纤1一侧的第二端面21对接形成一微腔3。[0046]需要说明的是，在本发明实施例中，所述第一光纤1和所述第二光纤2对准后连接闭合，使得所述第一端面11和所述第二端面21作为反射镜形成微腔，所述微腔的空间内留有空气间隙，所述微腔3为稳定腔。还需要说明的是，在光学谐振腔中，光在两反射镜之间来回不断反射，因而通常要求谐振腔能保证光在腔内来回反射过程中始终不离开谐振腔。满足这一要求的腔称为稳定腔。对于光线在谐振腔中的行为，由光线在腔内往返传输的矩阵表示法可以证明：对腔长为L，镜面曲率半径分别为R1和R2的谐振腔，其稳定条件为:01—LR1*1—LR21或（1—LR1=1—LR2=0。[0047]在本发明实施例中，所述第一端面11的凹形曲面通过二氧化碳激光处理得到，以使得所述第一端面11为超光滑表面，从而实现极低的表面粗糙度，如〇•2nm，同时便于所述第一端面11上后续可以镀上反射率超高的反射膜，提高所述光纤法布里珀罗传感器的精细度。[0048]需要说明的是，在本发明实施例中，以所述第一光纤1的中轴线与所述第一端面11的交点为中心，第一数值为直径的曲面区域为等效球面，以获得具有简并模式的光纤法布里珀罗传感器，同时降低所述光纤法布里珀罗传感器的工艺难度。其中，以所述第一光纤1的中轴线与所述第一端面11的交点为中心，第一数值为直径的曲面区域为等效球面是指：任意取过所述第一光纤中轴线的截面得到的剖面曲线的预设曲率半径相等。其中，所述剖面曲线的预设曲率半径是指该剖面曲线的底部的一段可以用多项式拟合成光滑的圆弧，该圆弧最低点的曲率半径记为该剖面曲线的预设曲率半径。[0049]需要说明的是，在本发明实施例中，所述第一端面的凹形曲面的中心要落在所述第一光纤的纤芯范围内，不能偏离所述第一光纤的纤芯区域。[0050]在上述实施例的基础上，在本发明的一个实施例中，所述第一端面11的凹形曲面可以为抛物面，在本发明的另一个实施例中，所述第一端面11的凹形曲面为高斯面，本发明对此并不做限定，在本发明其他实施例中，所述第一端面11还可以为其他凹形曲面，具体视情况而定，只要保证以所述第一光纤1的中轴线与所述第一端面11的交点为中心，第一数值为直径的曲面区域为等效球面即可。[0051]由于球面一般用其直径表不其镜面大小，这一大小取决于所述第一光纤的种类，一般要求不小于10微米，且不大于所述第一光纤的包层直径，因此，在上述实施例的基础上，在本发明的一个实施例中，所述第一数值不小于10微米，且不大于所述第一光纤的包层直径，优选的，所述第一数值为10微米，但本发明对此并不做限定，具体视情况而定。[0052]具体的，在本发明实施例中，所述第一端面11的凹形曲面通过二氧化硅激光处理得到的方法包括:利用二氧化碳激光脉冲聚焦在所述第一端面11，从使得所述第一端面11的材料的吸热后迅速升华，熔化的所述第一端面11通过表面张力或热回流形成光滑的凹形曲面。[0053]需要说明的是，在本发明实施例中，利用二氧化硅激光处理所述第一端面11可以在得到凹形曲面的同时，使得所述凹形曲面的粗糙度较低，保证所述第一光纤1和所述第二光纤2形成微腔3满足稳定腔的条件，还便于后续在所述第一端面11镀具有超高反射率的反射膜。[0054]在上述任一实施例的基础上，在本发明的一个实施例中，所述第一端面11上镀有第一反射膜，所述第一反射膜为具有高反射率的介质膜，可选的，所述第一反射膜的反射率不小于99.99%，优选的，所述第一反射膜的反射率不小于99.998%，以提高所述第一端面11的反射率，提高所述光纤布里珀罗传感器的精细度。[0055]具体的，在上述实施例的基础上，在本发明的一个实施例中，所述第一反射膜由两种不同折射率的反射膜叠加形成，以获得反射率高，散射和吸收小的反射膜。可选的，在本发明的一个实施例中，所述第一反射膜包括层叠的五氧化二钽薄膜和二氧化硅薄膜，以实现超高反射率，如99.998%的反射率，但本发明对此并不做限定，在本发明的其他实施例中，所述第一反射膜也可以为其他光学反射膜，只要具有较高的反射率即可，具体视情况而定。需要说明的是，所述第一反射膜的反射率越高，所述第一端面11的表面就要越光滑，以保证所述第一端面11可以形成所述第一反射膜。[0056]需要说明的是，当所述光纤法布里珀罗传感器的自由光谱范围用频率来表示时，则所述光纤法布里珀罗传感器的自由光谱范围等于光速除以两倍的腔长（即所述微腔的长度），而本发明实施例所提供的光纤法布里珀罗传感器的腔长一般在几百纳米到几微米，因此，本发明实施例所提供的光纤法布里珀罗传感器的自由光谱范围可以达到150THZ左右，精细度达到100000。而所述光纤法布里珀罗传感器的微腔的线宽等于自由光谱范围除以精细度，所以本发明实施例所提供的光纤法布里珀罗传感器的线宽胶窄，可以到1.5GHz。[0057]由上可知，本发明实施例所提供的光纤法布里珀罗传感器由第一光纤1和第二光纤2两段光纤对接形成，其中，所述第一光纤1朝向所述第二光纤2—侧的第一端面11为凹形曲面，从而可以在第一光纤1和第二光纤2两段光纤对接后形成一个满足稳定腔条件的微腔，以使得本发明实施例所提供的光纤法布里珀罗传感器具有良好的模式匹配，超高的精细度，较大的自由光谱范围，较窄的微腔线宽，良好的稳定性以及较小的体积和较高的集成度。[0058]在上述任一实施例的基础上，在本发明的一个实施例中，所述第二端面21为平面，以使得所述第二端面21可以作为平面镜;在本发明的另一个实施例中，所述第二端面21为凸形曲面，以使得所述第二端面21可以作为凸面镜;在本发明的又一个实施例中，所述第二端面21为凹形曲面，以使得所述第二端面21可以作为凹面镜，本发明对此并不做限定，只要保证所述第一端面11和所述第二端面21对接形成的微腔为稳定腔即可。[0059]在上述实施例的基础上，在本发明的一个可选实施例中，所述第二光纤2朝向所述第一光纤1一侧的第二端面21为凹形曲面，以在使得所述微腔3满足稳定腔的条件，减小所述微腔3的光场泄漏的同时，便于所述第二端面21的加工以及所述第一端面11和所述第二端面21的对接。可选的，在本发明实施例中，所述第二端面21通过二氧化碳激光处理得到，且以所述第二光纤2的中轴线与所述第二端面21的交点为中心，第二数值为直径的曲面区域为等效球面。其中，以所述第二光纤2的中轴线与所述第二端面21的交点为中心，第二数值为直径的曲面区域为等效球面是指:任意取过所述第二光纤中轴线的截面得到的剖面曲线的预设曲率半径相等。其中，所述剖面曲线的预设曲率半径是指该剖面曲线的底部的一段可以用多项式拟合成光滑的圆弧，该圆弧最低点的曲率半径记为该剖面曲线的预设曲率半径。[0060]需要说明的是，在本发明实施例中，所述第二端面的凹形曲面的中心要落在所述第二光纤的纤芯范围内，不能偏离所述第二光纤的纤芯区域。[0061]在上述实施例的基础上，在本发明的一个实施例中，所述第二端面21的凹形曲面为抛物面;在本发明的另一个实施例中，所述第二端面21的凹形曲面为高斯面，本发明对此并不做限定，在本发明的其他实施例中，所述第二端面21还可以为其他凹形曲面，具体视情况而定。[0062]可选的，在上述实施例的基础上，在本发明的一个实施例中，所述第二数值不小于10微米，且不大于所述第二光纤的包层直径，优选的，所述第二数值为10微米，但本发明对此并不做限定，具体视情况而定。[0063]具体的，在本发明实施例中，所述第二端面21的凹形曲面通过二氧化娃激光处理得到的方法包括:利用二氧化碳激光脉冲聚焦在所述第二端面21，从使得所述第二端面21的材料的吸热后迅速升华，熔化的所述第二端面21通过表面张力或热回流形成光滑的凹形曲面。[0064]需要说明的是，在本发明实施例中，利用二氧化硅激光处理所述第二端面21可以在得到凹形曲面的同时，使得所述凹形曲面的粗糙度较低，保证所述第一光纤1和所述第二光纤2形成微腔3满足稳定腔的条件，还便于后续在所述第二端面21镀具有超高反射率的反射膜。[0065]在上述任一实施例的基础上，在本发明的一个实施例中，所述第二端面21上镀有第二反射膜，所述第二反射膜为具有高反射率的介质膜，可选的，所述第二反射膜的反射率不小于99.99%，优选的，所述第二反射膜的反射率不小于99•998%，以提高所述第二端面21的反射率，提高所述光纤布里珀罗传感器的精细度。[0066]具体的，在上述实施例的基础上，在本发明的一个实施例中，所述第二反射膜由两种不同折射率的反射膜叠加形成，以获得反射率高，散射和吸收小的反射膜。可选的，在本发明的一个实施例中，所述第二反射膜包括层叠的五氧化二钽薄膜和二氧化硅薄膜，以实现超高反射率，如99.998%的反射率，但本发明对此并不做限定，在本发明的其他实施例中，所述第二反射膜还可以为其他光学反射膜，只要具有较高的反射率即可，具体视情况而定。需要说明的是，所述第二反射膜的反射率越高，所述第二端面21的表面就要越光滑，以保证所述第二端面21可以形成所述第二反射膜。[0067]本发明实施例所提供的光纤法布里珀罗传感器，利用所述第一端面11和所述第二端面21的凹形曲面对接形成微腔3，使得所述微腔3满足稳定腔的条件，减小光场泄漏现象，极大地降低了所述微腔3的几何损耗，提高所述光纤法布里珀罗传感器精细度。[0068]具体的，在本发明的一个实施例中，所述第一端面11和所述第二端面21的反射率相同，均为R，则本发明实施例所提供的光纤法布里珀罗传感器的精细度Finesse二nl-R。当所述第一反射膜和所述第二反射膜的反射率可以达到99.99%时，则本发明实施例所提供的光纤法布里珀罗传感器的精细度Finesse为31000;当所述第一反射膜和所述第二反射膜的反射率可以达到99.997%时，则本发明实施例所提供的光纤法布里珀罗传感器的精细度Finesse超过十万。[0069]由此可见，本发明实施例所提供的光纤法布里珀罗传感器的精细度可以达到十几万，相较于现有光纤法布里珀罗传感器，本发明实施例所提供的光纤法布里珀罗传感器的精细度大大提高了。[0070]在上述任一实施例的基础上，在本发明的一个实施例中，所述第一端面11和所述第二端面21的对接工艺为熔接，即所述第一光纤1和所述第二光纤2通过所述第一端面11和所述第二端面21之间的熔接实现固定连接，从而形成所述传感器。具体的，所述第一端面11和所述第二端面21通过光纤熔接机熔接。具体的，在所述第一端面11镀上第一反射膜，在所述第二端面21镀上第二反射膜后，利用光纤熔接机将所述第一端面11和所述第二端面21的包层边缘熔接，直接形成具有超高精细度的气泡微腔。[0071]在本发明的另一个实施例中，所述第一端面11和所述第二端面21的对接工艺为粘接，即所述第一光纤1和所述第二光纤2通过所述第一端面11和所述第二端面21之间的粘接实现固定连接，从而形成所述传感器。具体的，在本发明一个实施例中，所述第一端面11和所述第二端面21之间的粘接可以通过胶水实现，但本发明对此并不做限定，具体视情况而定。[0072]在上述任一实施例的基础上，在本发明的一个实施例中，所述第一光纤1可以为单模光纤，也可以为多模光纤，还可以为光子晶体光纤等;同理，所述第二光纤2可以为单模光纤，也可以为多模光纤，还可以为光子晶体光纤等。本发明对此并不做限定，具体视情况而定。[0073]在上述任一实施例的基础上，在本发明的一个实施例中，所述微腔可以为密封空气腔，也可以具有开口，从而便于通过所述开口向所述微腔内填充测量液体如可以改变光线折射率的液体），以增大所述光纤法布里珀罗传感器的测量参数范围，扩大所述光纤法布里珀罗传感器的应用范围。[0074]综上所述，本发明实施例所提供的光纤法布里珀罗传感器，具有良好的模式匹配，超高的精细度，较大的自由光谱范围，较窄的微腔线宽，良好的稳定性以及较小的体积和较局的集成度。[0075]相应的，本发明实施例还提供了一种光纤法布里珀罗传感器的制作方法，如图3所示，该方法包括：[0076]S1:去除第一光纤尾端的涂覆层，得到第一端面。[0077]需要说明的是，在本发明实施例中，所述第一光纤为入射端光纤，所述第一光纤的尾端为所述第一光纤中信号出射的一端。[0078]在上述实施例的基础上，在本发明的一个实施例中，去除第一光纤尾端的涂覆层，得到第一端面之后，该方法还包括:对所述第一端面进行切割处理，以获得平整的所述第一端面。[0079]S2:去除第二光纤尾端的涂覆层，得到第二端面。[0080]需要说明的是，在本发明实施例中，第二光纤为出射端光纤，所述第二光纤的尾端为所述第二光纤中信号输入的一端。[0081]在上述实施例的基础上，在本发明的一个实施例中，去除第二光纤尾端的涂覆层，得到第二端面之后，该方法还包括:对所述第二端面进行切割处理，以获得平整的所述第二端面。[0082]S3:利用二氧化碳激光处理所述第一端面，使得所述第一端面为凹形曲面，且以所述第一光纤的中轴线与所述第一端面的交点为中心，第一数值为直径的曲面区域为等效球面。[0083]具体的，在本发明的一个实施例中，利用二氧化碳激光处理所述第一端面，使得所述第一端面为凹形曲面包括:利用二氧化碳激光脉冲聚焦在所述第一端面，从使得所述第一端面的材料的吸热后迅速升华，熔化的所述第一端面通过表面张力或热回流形成光滑的凹形曲面，以在得到凹形曲面的同时，使得所述凹形曲面的粗糙度较低，保证后续所述第一光纤和所述第二光纤形成微腔满足稳定腔的条件，还便于后续在所述第一端面镀具有超高反射率的反射膜。[0084]可选的，在上述实施例的基础上，在本发明的一个实施例中，所述第一数值为10微米，但本发明对此并不做限定，具体视情况而定。[0085]S4:对接所述第一端面和第二端面，得到一微腔，并固定连接所述第一光纤和所述第二光纤，制得所述光纤法布里珀罗传感器，所述微腔为稳定腔。[0086]在上述实施例的基础上，在本发明的一个实施例中，所述第一光纤和所述第二光纤的固定连接方式可以为熔接，也可以为粘接，本发明对此并不做限定，具体视情况而定。[0087]具体的，在上述实施例的基础上，在本发明的一个实施例中，固定连接所述第一光纤和所述第二光纤之后还包括:利用光纤涂覆机在所述第一光纤和所述第二光纤的未被涂覆层包覆的部分形成涂覆层，以保护所述第一光纤和所述第二光纤不断裂。[0088]在上述任一实施例的基础上，在本发明的一个实施例中，如图4所示，该方法在对接所述第一端面和第二端面，得到一微腔前还包括：[0089]S5:在所述第一端面镀第一反射膜。[0090]在上述实施例的基础上，在本发明的一个实施例中，所述第一反射膜为具有高反射率的介质膜，可选的，所述第一反射膜的反射率不小于99.99%，优选的，所述第一反射膜的反射率不小于99.998%，以提高所述第一端面的反射率，提高所述光纤布里珀罗传感器的精细度。[0091]具体的，在上述实施例的基础上，在本发明的一个实施例中，所述第一反射膜由两种不同折射率的反射膜叠加形成，以获得反射率高，散射和吸收小的反射膜。可选的，在本发明的一个实施例中，所述第一反射膜包括层叠的五氧化二钽薄膜和二氧化硅薄膜，以实现超高反射率，如99.998%的反射率，但本发明对此并不做限定，在本发明的其他实施例中，所述第一反射膜还可以为其他光学反射膜，只要具有较高的反射率即可，具体视情况而定。需要说明的是，所述第一反射膜的反射率越高，所述第一端面的表面就要越光滑，以保证所述第一端面可以形成所述第一反射膜。[0092]在上述任一实施例的基础上，在本发明的一个实施例中，如图5所示，该方法在对接所述第一端面和第二端面，得到一微腔前还包括：[0093]S6:利用二氧化碳激光处理所述第二端面，使得所述第二端面为凹形曲面，且以所述第二光纤的中轴线与所述第二端面的交点为中心，第二数值为直径的曲面区域为等效球面。[0094]具体的，在本发明的一个实施例中，利用二氧化碳激光处理所述第二端面，使得所述第二端面为凹形曲面包括:利用二氧化碳激光脉冲聚焦在所述第二端面，从使得所述第二端面的材料的吸热后迅速升华，熔化的所述第二端面通过表面张力或热回流形成光滑的凹形曲面，以在得到凹形曲面的同时，使得所述凹形曲面的粗糙度较低，保证所述第一光纤和所述第二光纤形成微腔满足稳定腔的条件，还便于后续在所述第二端面镀具有超高反射率的反射膜。[0095]可选的，在上述实施例的基础上，在本发明的一个实施例中，所述第二数值为10微米，但本发明对此并不做限定，具体视情况而定。[0096]在上述实施例的基础上，在本发明的一个实施例中，如图6所示，该方法在对接所述第一端面和第二端面，得到一微腔前还包括：[0097]S7:在所述第二端面镀第二反射膜。[0098]在上述任一实施例的基础上，在本发明的一个实施例中，所述第二反射膜为具有高反射率的介质膜，可选的，所述第二反射膜的反射率不小于99.99%，优选的，所述第二反射膜的反射率不小于99.998%，以提高所述第二端面的反射率，提高所述光纤布里珀罗传感器的精细度。[0099]具体的，在上述实施例的基础上，在本发明的一个实施例中，所述第二反射膜由两种不同折射率的反射膜叠加形成，以获得反射率高，散射和吸收小的反射膜。可选的，在本发明的一个实施例中，所述第二反射膜包括层叠的五氧化二钽薄膜和二氧化硅薄膜，以实现超高反射率，如99.998%的反射率，但本发明对此并不做限定，在本发明的其他实施例中，所述第二反射膜还可以为其他光学反射膜，只要具有较高的反射率即可，具体视情况而定。需要说明的是，所述第二反射膜的反射率越高，所述第二端面的表面就要越光滑，以保证所述第二端面可以形成所述第二反射膜。[0100]在上述任一实施例的基础上，在本发明的一个实施例中，该方法在固定连接所述第一光纤和所述第二光纤，制得所述光纤法布里珀罗传感器之后，还包括:对制得的所述光纤法布里珀罗传感器进行测试、挑选，以获得合格的所述光纤法布里珀罗传感器。[0101]利用本发明实施例所提供的光纤法布里珀罗传感器制作方法制作的光纤法布里珀罗传感器具有良好的模式匹配，超高的精细度，较大的自由光谱范围，较窄的微腔线宽，良好的稳定性以及较小的体积和较高的集成度。[0102]此外，本发明实施例还提供了一种测试装置，如图7所示，该测试装置包括：[0103]上述任一实施例所提供的光纤法布里珀罗传感器10;[0104]位于所述第一光纤背离所述第二光纤一侧的光源20,所述光源20用于向所述光纤法布里珀罗传感器发射连续波长的激光；[0105]位于所述第二光纤背离所述第一光纤一侧的光谱仪30,所述光谱仪用于接收所述光纤法布里珀罗传感器出射的光线。[0106]具体工作时，所述光源20用于发射连续的激光耦合进所述光纤法布里珀罗传感器10,所述光源20发射的光线经过所述光纤法布里珀罗传感器1〇时，只有满足共振条件的波长，才可以从所述光纤法布里珀罗传感器10射出，从而使得所述光源20发射的光线经过所述光纤法布里珀罗传感器10之后形成一系列分离的谱线，被所述光谱仪30测得。优选的，所述光源2〇发射的激光波长可调。具体的，在本发明的一个实施例中，所述光源20为宽带光源。[0107^由于所述光纤法布里珀罗传感器所处环境的待测的温度、所述光纤法布里珀罗传感器受到的应力、光谱线等待测物理量可以改变所述微腔的腔长如温度会导致热胀冷缩，从而改变所述微腔的腔长，应力可以拉伸所述第一光纤和所述第二光纤，从而也可以改变所述微腔的腔长），从而改变所述光纤法布里珀罗传感器的共振波长，进而改变所述光纤法布里珀罗传感器的微腔的出射光谱，因此，本发明实施例所提供的测试装置可以通过对比待测物理量作用于所述光纤法布里珀罗传感器前后，所述光纤法布里珀罗传感器出射的光谱，获得待测物理量作用于所述光纤法布里珀罗传感器前后，所述光纤法布里珀罗传感器出射的光谱或共振波长改变量，再根据所述光纤法布里珀罗传感器的光谱或共振波长）改变量与所述光纤法布里珀罗传感器腔长的关系，得到所述光纤法布里珀罗传感器腔长的改变量，最后根据所述光纤法布里珀罗传感器腔长的改变量折算成相应的待测物理量的变化，实现对待测物理量的测量或监控。[0108]因此，本发明实施例所提供的测试装置可以用于对温度、应力或光谱等参数的高灵敏度的测量，也可以作为微型法布里珀罗的标准具，具有自由光谱范围大、精细度高和分辨率高的特点。[0109]本说明书中各个部分采用递进的方式描述，每个部分重点说明的都是与其他部分的不同之处，各个部分之间相同相似部分互相参见即可。[0110]对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

权利要求：1.一种光纤法布里珀罗传感器，其特征在于，包括：相对的第一光纤和第二光纤，所述第一光纤朝向所述第二光纤一侧的第一端面为凹形曲面，且所述第一端面和所述第二光纤朝向所述第一光纤一侧的第二端面对接形成一微腔，所述微腔为稳定腔；其中，所述第一端面的凹形曲面通过二氧化碳激光处理得到，且以所述第一光纤的中轴线与所述第一端面的交点为中心，第一数值为直径的曲面区域为等效球面。2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述第一端面的凹形曲面为抛物面或高斯面。3.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述第二光纤朝向所述第一光纤一侧的第二端面为凹形曲面，且所述第二端面通过二氧化碳激光处理得到，且以所述第二光纤的中轴线与所述第二端面的交点为中心，第二数值为直径的曲面区域为等效球面。4.根据权利要求2所述的传感器，其特征在于，所述第二端面的凹形曲面为抛物面或高斯面。5.根据权利要求2所述的传感器，其特征在于，所述第一端面上镀有第一反射膜，和或，所述第二端面上镀有第二反射膜。6.根据权利要求5所述的传感器，其特征在于，所述第一反射膜包括层叠的五氧化二钽薄膜和二氧化硅薄膜;所述第二反射膜包括层叠的五氧化二钽薄膜和二氧化硅薄膜。7.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述第一端面和所述第二端面的对接工艺为熔接或粘接。8.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述第一光纤为单模光纤或多模光纤或光子晶体光纤;所述第二光纤为单模光纤或多模光纤或光子晶体光纤。9.根据权利要求1-8任一项所述的传感器，其特征在于，所述微腔具有开口。10.—种光纤法布里珀罗传感器的制作方法，其特征在于，该方法包括：去除第一光纤尾端的涂覆层，得到第一端面；去除第二光纤尾端的涂覆层，得到第二端面；利用二氧化碳激光处理所述第一端面，使得所述第一端面为凹形曲面，且以所述第一光纤的中轴线与所述第一端面的交点为中心，第一数值为直径的曲面区域为等效球面；对接所述第一端面和第二端面，得到一微腔，并固定连接所述第一光纤和所述第二光纤，制得所述光纤法布里珀罗传感器，所述微腔为稳定腔。11.根据权利要求10所述的制作方法，其特征在于，该方法在对接所述第一端面和第二端面，得到一微腔前还包括：利用二氧化碳激光处理所述第二端面，使得所述第二端面为凹形曲面，且以所述第二光纤的中轴线与所述第二端面的交点为中心，第二数值为直径的曲面区域为等效球面。12.根据权利要求10所述的制作方法，其特征在于，该方法在对接所述第一端面和第二端面，得到一微腔前还包括：在所述第一端面镀第一反射膜;在所述第二端面镀第二反射膜。13.—种测试装置，其特征在于，包括：权利要求1-9任一项所述的光纤法布里珀罗传感器；位于所述第一光纤背离所述第二光纤一侧的光源，所述光源用于向所述光纤法布里珀罗传感器发射连续波长的激光；位于所述第二光纤背离所述第一光纤一侧的光谱仪，所述光谱仪用于接收所述光纤法布里珀罗传感器出射的光线。

百度查询： 中国科学技术大学 光纤法布里珀罗传感器及其制作方法、测试装置

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