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申请/专利权人：雅马哈精密科技株式会社
申请日：2020-08-24
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN112444728B
主分类号：G01R31/28
分类号：G01R31/28;G01R1/04
优先权：["20190830 JP 2019-158277"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权;2021.03.23#实质审查的生效;2021.03.05#公开
摘要：本发明提供高频特性检查装置以及高频特性检查方法，将检查探针与基板自动连接，适当地检查高频特性。高频特性检查装置为检查基板的高频特性的高频特性检查装置，具有：检查夹具，其能够移动，且具有用于从基板的主表面侧检查基板的多个检查探针；摄像部，其对基板的主表面侧进行拍摄；基板保持器，其保持基板，且能够至少相对于基板的主表面平行地移动；控制部，其基于摄像部拍摄到的图像，至少使基板保持器移动，从而使检查探针与基板接触；控制部使基板保持器相对于基板的主表面平行地移动，在进行了基板相对于检查夹具的定位后，使检查夹具与基板保持器相对地在主表面的垂直方向上移动，从而使检查探针与基板接触。
主权项：1.一种高频特性检查装置，检查基板的高频特性，其特征在于，具有：检查夹具，其能够移动，具有用于从所述基板的主表面侧检查所述基板的多个检查探针，并且包括在所述基板的第一主表面侧配置的第一检查夹具、以及在与所述第一主表面侧相反一侧的第二主表面侧配置的第二检查夹具；摄像部，其包括对所述第一主表面侧的基板图案进行拍摄的第一摄像部、以及对所述第二主表面侧的基板图案进行拍摄的第二摄像部；基板保持器，其保持所述基板，且能够至少相对于所述基板的主表面平行地移动；控制部，其基于所述摄像部拍摄到的图像，至少使所述基板保持器移动，从而使所述检查探针与所述基板接触；所述控制部基于所述第一摄像部及所述第二摄像部拍摄到的所述基板图案，使所述基板保持器相对于所述基板的主表面平行地移动，在进行了所述基板相对于所述检查夹具的定位后，使所述第一检查夹具及所述第二检查夹具与所述基板保持器相对地在所述主表面的垂直方向上移动，从而使多个所述检查探针与所述基板接触。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 雅马哈精密科技株式会社 高频特性检查装置、以及高频特性检查方法
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