申请/专利权人：苏州恩硕无尘科技有限公司

申请日：2020-12-29

公开（公告）日：2024-05-17

公开（公告）号：CN112713112B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/677;H01L21/66

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.05.17#授权;2021.05.14#实质审查的生效;2021.04.27#公开

摘要：本发明提供一种晶圆推片器治具及其推片方法，治具包括治具平台、晶圆匣和晶圆推送机构；所述晶圆推送机构包括推送组件和扫描检测组件，所述推送组件包括推送部，所述推送部对应所述晶圆匣的中部，所述扫描检测组件包括移动式检测杆件和检测传感器，所述推送部的推送面上还设有压力传感器，所述压力传感器电连接有控制器，所述检测传感器电连接所述控制器。先通过推送部推送单片晶圆，压力传感器测得单片晶圆推力值，再通过检测杆件和检测传感器测得晶圆匣中晶圆的数量，算出推动晶圆匣中所有晶圆的推力值。本发明根据晶圆匣中晶圆数量进行精确推动，适用不同类型的晶圆，能够生产安全，避免作业事故产生。

主权项：1.一种晶圆推片器治具的推片方法，其特征在于，所述晶圆推片器治具包括治具平台、设置在治具平台上的晶圆匣和晶圆推送机构；所述晶圆推送机构安装在所述治具平台上并位于所述晶圆匣的一侧；所述晶圆推送机构的推送方向对应于所述晶圆匣的入口，所述晶圆匣内设有沿垂直方向均匀排布的晶圆插槽；所述晶圆推送机构包括推送组件和扫描检测组件，所述推送组件包括推送部，所述推送部对应所述晶圆匣的中部，所述扫描检测组件包括移动式检测杆件和检测传感器，所述检测传感器安装在所述检测杆件上并与所述检测杆件同步移动，所述检测杆件对应所述晶圆匣入口并沿着垂直方向移动；所述推送部的推送面上设有对应所述晶圆插槽的晶圆推槽，所述推送部上还设有压力传感器，所述压力传感器电连接有控制器，所述检测传感器电连接所述控制器；所述方法包括如下步骤：S1、预先检测单片晶圆推力，在所述晶圆匣内的晶圆插槽中放置一片晶圆，所述推送部推动晶圆移动，推送面上的压力传感器检测到一片晶圆移动的反推力信号值，并将该信号值反馈到所述控制器，测得单片晶圆的推力值；S2、扫描晶圆匣中晶圆数量，所述检测杆件对应所述晶圆匣入口，自所述晶圆匣的最上端向下移动，通过检测传感器在随着所述检测杆件移动的过程中，扫描并测得晶圆匣中晶圆，当所述检测传感器每检测到一片晶圆时，将检测信息反馈到所述控制器，所述控制器得到所述晶圆匣中晶圆的数量值；S3、计算推力值，所述控制器根据步骤S1中测得的单片晶圆推力值和步骤S2中测得的晶圆数量，计算出推送部的推力值；S4、推动晶圆，所述推送部根据步骤S3中计算出的推力值，向所述晶圆匣方向移动并推动所述晶圆插槽中的晶圆。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州恩硕无尘科技有限公司 一种晶圆推片器治具及其推片方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD